美國(guó)最大的開(kāi)放式MEMS 技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司(Innovative Micro Technology)日前宣布：公司與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院繼續(xù)開(kāi)展戰(zhàn)略合作，并已將第三屆(2017年度)MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金頒發(fā)給該院的三位優(yōu)秀學(xué)生，以鼓勵(lì)他們?cè)贛EMS工藝技術(shù)研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域所做的貢獻(xiàn)，并激勵(lì)更多青年學(xué)人關(guān)注和投身MEMS制造工藝技術(shù)創(chuàng)新。官勇、賈德林和宋宇三位同學(xué)獲得了該年度的專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金。

　　作為全球領(lǐng)先的MEMS技術(shù)領(lǐng)域純晶圓代工企業(yè)，近年來(lái)IMT已與中國(guó)半導(dǎo)體生態(tài)中各類伙伴開(kāi)展了廣泛而深入的合作。不僅為中國(guó)領(lǐng)先的器件設(shè)計(jì)公司代工生產(chǎn)了先進(jìn)的MEMS產(chǎn)品，還與諸多研究機(jī)構(gòu)開(kāi)展了多項(xiàng)MEMS工藝研發(fā)合作，而已經(jīng)連續(xù)三年為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的學(xué)生頒發(fā)的MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，目的在于支持MEMS及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的未來(lái)之才開(kāi)展創(chuàng)新，并在更廣泛的范圍內(nèi)進(jìn)一步推動(dòng)MEMS制造工藝技術(shù)頂尖人才的培養(yǎng)。

　　經(jīng)過(guò)三年的運(yùn)行和積累，IMT-北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金吸引了越來(lái)越多的學(xué)生參與。在對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院將2017年度獎(jiǎng)學(xué)金授予了官勇、賈德林和宋宇這三位展現(xiàn)出優(yōu)秀研究成果的學(xué)生。這三位IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為硅通孔轉(zhuǎn)接板制作工藝基礎(chǔ)研究，聚酰亞胺犧牲層工藝及其在光學(xué)讀出紅外/太赫茲焦平面陣列探測(cè)器中的應(yīng)用，以及碳納米管導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的制備工藝及其在智能能量系統(tǒng)中的應(yīng)用。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

　　MEMS技術(shù)在我們的工作和生活中早已無(wú)處不在，包括消費(fèi)電子、汽車、航空航天、機(jī)械、化工、醫(yī)藥等在內(nèi)的眾多領(lǐng)域都已存在MEMS產(chǎn)品的身影。MEMS產(chǎn)品具備體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等諸多優(yōu)點(diǎn)。MEMS技術(shù)的持續(xù)演進(jìn)，推動(dòng)了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創(chuàng)新，同時(shí)激勵(lì)著IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)積極開(kāi)展合作，共同推進(jìn)相關(guān)制造技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)，以應(yīng)對(duì)物聯(lián)網(wǎng)、智能化和生物科技等等領(lǐng)域內(nèi)快速發(fā)展的需求。

　　“IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的合作已有三年，很高興看到三年來(lái)同學(xué)們?cè)贛EMS技術(shù)研究方面所取得的進(jìn)步和突破，他們高質(zhì)量的論文和對(duì)創(chuàng)新的追求令我們印象深刻，”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示。“雙方合作的這三年，MEMS技術(shù)在不斷向前發(fā)展，無(wú)論基礎(chǔ)性技術(shù)的演進(jìn)還是應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，都讓我們對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)的前景抱有極大的信心。在中國(guó)，集成電路產(chǎn)業(yè)也已發(fā)展到一個(gè)新的時(shí)代，技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、資本參與和國(guó)際合作等方面都已邁上一個(gè)新的臺(tái)階，IMT期待利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)服務(wù)為中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的、更大的發(fā)展機(jī)會(huì)?！?/p>

　　“自2015年與IMT形成戰(zhàn)略關(guān)系以來(lái)，雙方在開(kāi)發(fā)新的MEMS制造工藝及技術(shù)方面展開(kāi)了卓有成效的合作并已經(jīng)從中獲益。過(guò)去的三年，MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金已經(jīng)授予了8位學(xué)生和1個(gè)學(xué)生團(tuán)隊(duì)，激勵(lì)了同學(xué)們?nèi)ド钊胩剿鱉EMS制造工藝技術(shù)創(chuàng)新，并通過(guò)所開(kāi)展的研究在相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)做出了實(shí)際貢獻(xiàn)?！北本┐髮W(xué)微納電子學(xué)研究院王瑋教授表示，“通過(guò)與IMT這樣全球領(lǐng)先的MEMS制造服務(wù)公司合作，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院進(jìn)一步加快了對(duì)MEMS技術(shù)的研究進(jìn)程，雙方將共同推動(dòng)MEMS新技術(shù)、新工藝的誕生，并為行業(yè)培養(yǎng)更多的優(yōu)秀工藝研發(fā)人才。”