摘要 文中針對(duì)關(guān)于一種厚膜混合集成自激振蕩電路進(jìn)行了理論分析，并對(duì)批量化持續(xù)改進(jìn)過程的技術(shù)作出了總結(jié)。介紹了該產(chǎn)品的電路、結(jié)構(gòu)及失效產(chǎn)品的原因和解決方案，并進(jìn)一步論證了自激振蕩電路批產(chǎn)化和高可靠的設(shè)計(jì)原則，同時(shí)也對(duì)傳感器行業(yè)特點(diǎn)及其發(fā)展方向進(jìn)行了相關(guān)探討。
關(guān)鍵詞 自激振蕩電路；厚膜混合集成；產(chǎn)品可靠性

厚膜混合集成自激振蕩電路適用于加速度計(jì)，能與石英振梁配套，組成一種新型固態(tài)化、數(shù)字輸出的加速度傳感器。輸出的頻率信號(hào)完全由數(shù)字電路處理，無(wú)需進(jìn)行A／D轉(zhuǎn)換，同時(shí)可直接被導(dǎo)航計(jì)算機(jī)使用，從而消除了轉(zhuǎn)換誤差。
該加速度計(jì)量程大、體積小、精度高、功耗低、啟動(dòng)時(shí)間短、可靠性高且具有較高的分辨率，應(yīng)用前景廣闊。可廣泛應(yīng)用于車輛導(dǎo)航、航海導(dǎo)航、空間微動(dòng)力測(cè)量、井孔地層密度測(cè)量、地方的重力測(cè)繪、地震監(jiān)視以及火山爆發(fā)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。

1 產(chǎn)品描述和分析

該產(chǎn)品屬于厚膜混合集成電路，交付使用后，還需二次組裝，與石英振梁等結(jié)合組成用戶所需的各種加速度計(jì)專用電路。
由于石英振梁加速度計(jì)的底座與用戶封裝管帽的安裝要求較高，所以用戶對(duì)外形尺寸提出了具體的要求：封裝形式采用圓形直插式金屬外殼，殼體鍍鎳，引線鍍金，上下均有引出線，上引出線用作與外接溫度傳感器互連，下引出線主要是輸入輸出端子，上表面陶瓷蓋板高溫黏接，最終用戶封裝后，形成密封結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。
產(chǎn)品內(nèi)部，主要有3路方波振蕩器，通過外接溫度傳感器實(shí)現(xiàn)輸出頻率為25～45 kHz的方波。

該產(chǎn)品線路上采用多反向器實(shí)現(xiàn)了多諧振蕩，產(chǎn)生方波；工藝方面采用厚膜電阻、半導(dǎo)體反向器芯片、0603封裝片電容以及金導(dǎo)體細(xì)線成膜工藝，多數(shù)元器件采用導(dǎo)電膠粘接。