佳能將在2024年6月上旬發(fā)售支持使用第6代玻璃基板^※1的FPD（Flat Panel Display）曝光裝置新產(chǎn)品MPAsp-E1003H。其擁有更大的曝光幅度，生產(chǎn)能力將進(jìn)一步提升。

MPAsp-E1003H

車(chē)載橫向大型特殊顯示器（示意圖）

近年來(lái)，隨著自動(dòng)駕駛技術(shù)的發(fā)展和電動(dòng)汽車(chē)市場(chǎng)的擴(kuò)大，對(duì)于各式各樣的車(chē)載顯示器的需求量越來(lái)越高。市場(chǎng)對(duì)于車(chē)載和智能手機(jī)的顯示器，要求更輕薄、輕量，高精度，同時(shí)面板制造中不僅要確保品質(zhì)，而且追求更高的生產(chǎn)效率。新品“MPAsp-E1003H”依托曝光幅度的擴(kuò)大技術(shù)以及各種新技術(shù)的應(yīng)用，在取得更好的套刻精度的同時(shí)還能大幅提升生產(chǎn)效率。

支持使用第6代玻璃基板的最大※2的曝光幅度，生產(chǎn)性能提升

新產(chǎn)品采用了投影光學(xué)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)1.5μm※3（L／S※4）的高分辨率，且一次曝光幅度擴(kuò)大約1.2倍※5。該投影光學(xué)系統(tǒng)曾用于“MPAsp-H1003H”（2022年7月發(fā)售），可用于生產(chǎn)使用第8代玻璃基板※6一次性曝光、用于大型電視等的65英寸面板。在一塊玻璃基板上，如果生產(chǎn)智能手機(jī)面板等產(chǎn)品，此前需要6shot曝光，而新產(chǎn)品僅需4shot曝光，生產(chǎn)性能大幅提升。此外，在生產(chǎn)車(chē)載橫向大型特殊顯示器時(shí)，也可以做到無(wú)接縫2shot曝光。且，玻璃基板搭載臺(tái)的驅(qū)動(dòng)速度提升約60%，tact time提升約14%※7，有效提升了量產(chǎn)效率。

曝光幅度約擴(kuò)大1.2倍

【玻璃基板搭載臺(tái)】

重量相當(dāng)于一輛中型卡車(chē)。為了高效率生產(chǎn)制造高清顯示器，需要精確且高速地移動(dòng)。

第8代玻璃基板上采用的投影光學(xué)系統(tǒng)的圖片

智能手機(jī)用顯示器的shot 布局示例；大型特殊顯示器的shot 布局示例

根據(jù)用途可進(jìn)行4 shot或者2 shot曝光

定位測(cè)量，REI模塊搭載位置

新開(kāi)發(fā)的非線(xiàn)性補(bǔ)正模塊，實(shí)現(xiàn)高套刻精度

通過(guò)REI 模塊對(duì)投影的圖案進(jìn)行均等補(bǔ)正

定位測(cè)量示意圖

新產(chǎn)品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”（2014年9月發(fā)售）一樣的每塊面板多點(diǎn)同時(shí)測(cè)量的對(duì)位方式，此方式既保證了生產(chǎn)效率也實(shí)現(xiàn)了高精度曝光。同時(shí)，新產(chǎn)品還搭載了新開(kāi)發(fā)的非線(xiàn)性補(bǔ)正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模塊。搭載REI 模塊后，即使曝光幅度擴(kuò)大也實(shí)現(xiàn)了±0.30μm高套刻精度。

以往的技術(shù)+REI 以往的技術(shù)

使用REI Unit后的曝光圖案（示意圖）

照明模式切換設(shè)備和曝光示意圖

強(qiáng)化制造工藝

新產(chǎn)品沿用了曾經(jīng)搭載在“MPAsp-H1003H”上實(shí)現(xiàn)了超分辨率技術(shù)的照明模式切換機(jī)構(gòu)，可根據(jù)需要曝光圖案的種類(lèi)進(jìn)行照明模式切換，從而適配各類(lèi)制造工序的曝光。

新產(chǎn)品在形成圓弧光的機(jī)構(gòu)中，配備曝光狹縫自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)（SIC：Slit Illuminance Control）。通過(guò)自動(dòng)控制光線(xiàn)通過(guò)的狹縫寬度，可以改變曝光光線(xiàn)的強(qiáng)度分布，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的曝光線(xiàn)寬。

同時(shí)，新產(chǎn)品還采用了可配合曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向的universe chuck，首次實(shí)現(xiàn)可應(yīng)對(duì)車(chē)載顯示器多樣化布局需求。

曝光狹縫自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)

自動(dòng)控制光通過(guò)狹縫的幅度實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的曝光線(xiàn)寬

橫向縱向皆可固定玻璃基板的universe chuck

新產(chǎn)品MPAsp-E1003H通過(guò)強(qiáng)化上述制造工序的工藝應(yīng)對(duì)能力，制造質(zhì)量更加穩(wěn)定。

※   1、1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板，用于制造以智能手機(jī)為主的中小型顯示器面板。

※   2、佳能生產(chǎn)的支持使用第6代玻璃基板的FPD曝光設(shè)備。

※   3、1微米是1米的百萬(wàn)分之一（=千分之一毫米）。

※   4、Line and Space的縮寫(xiě)。Line和Space等距排列的圖案。

※   5、和「MPAsp-E813H」比較。

※   6、2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板，現(xiàn)在主要用于制造電視顯示器面板。

※   7、和「MPA-E813H」比較。

※   8、σ（sigma）為照明系的NA（開(kāi)口數(shù)）和投影系的NA的比。

※   9、Contact Hole縮寫(xiě)。為了形成布線(xiàn)而貫穿多層的圓形圖案。

FPD曝光設(shè)備內(nèi)部（參考圖）

佳能的FPD曝光設(shè)備的工作機(jī)制

佳能的FPD曝光設(shè)備采用鏡面投影方式。鏡面投影方式由大凹面鏡，小凹面鏡和梯形鏡組成。通過(guò)將光照射在單元上方的光掩模上，光掩模上的電路圖案就可以在經(jīng)過(guò)5次反射后準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)印在玻璃基板上。約1μm（1mm的千分之一）的精細(xì)電路圖案轉(zhuǎn)印到大型玻璃基板上時(shí)，凹面鏡特別關(guān)鍵。佳能具有較強(qiáng)的光學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù)，因而能夠研發(fā)生產(chǎn)直徑約1.5米的大型凹面鏡。

佳能的曝光方式在光學(xué)上具有完全對(duì)稱(chēng)的結(jié)構(gòu)，優(yōu)點(diǎn)是在原理上不會(huì)產(chǎn)生因斜射光引起的彗形像差（滲光），也不會(huì)因使用鏡頭的折射光學(xué)系統(tǒng)引起光的波長(zhǎng)差異進(jìn)而導(dǎo)致的色差（色偏）。在圓弧形的范圍內(nèi)能夠得到優(yōu)良的成像特性，通過(guò)掃描該圓弧形的曝光區(qū)域即可實(shí)現(xiàn)大面積高分辨率性能。