完整的MOCVD設(shè)備進(jìn)口免稅，而國(guó)產(chǎn)MOCVD制造過(guò)程中需要進(jìn)口的一部分關(guān)鍵零部件需繳納關(guān)稅，使得現(xiàn)階段國(guó)產(chǎn)設(shè)備處于劣勢(shì)。

　　對(duì)于很多像LED、PV、電動(dòng)汽車(chē)、通訊（包括無(wú)線通訊和光纖通訊）等高科技領(lǐng)域來(lái)說(shuō)，MOCVD無(wú)疑是非常重要和關(guān)鍵的設(shè)備，因?yàn)楹芏嘞嚓P(guān)系統(tǒng)中所用到的器件和芯片都出自于MOCVD所生長(zhǎng)和制作出的外延片。可是多年來(lái)，國(guó)內(nèi)的MOCVD一直靠進(jìn)口，國(guó)外設(shè)備占據(jù)了絕大部分份額，這種現(xiàn)狀急需改變。

　　巨頭壟斷市場(chǎng)

　　國(guó)產(chǎn)設(shè)備處境艱難

　　過(guò)去6~7年中，中國(guó)用于進(jìn)口MOCVD設(shè)備的經(jīng)費(fèi)約15億美元，其中各地方政府補(bǔ)貼經(jīng)費(fèi)高達(dá)70億元左右。

　　當(dāng)前，美國(guó)的VEECO和德國(guó)的Aixtron公司壟斷了全球近95%的市場(chǎng)。在過(guò)去的6~7年中，中國(guó)用于進(jìn)口MOCVD設(shè)備的經(jīng)費(fèi)大約15億美元，約合100億元人民幣，其中各地方政府補(bǔ)貼經(jīng)費(fèi)高達(dá)70億元左右。為了半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，花費(fèi)巨資購(gòu)買(mǎi)所需要的關(guān)鍵設(shè)備本來(lái)無(wú)需質(zhì)疑，可惜的是，我們花了這么多的錢(qián)，最后還是沒(méi)有屬于自己的核心設(shè)備技術(shù)和關(guān)鍵零部件。

　　當(dāng)已有的設(shè)備和技術(shù)落后了，不再有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)了，甚至被淘汰了，或是我們需要更多設(shè)備的時(shí)候，我們還是要繼續(xù)花費(fèi)巨資向外國(guó)公司購(gòu)買(mǎi)新的設(shè)備。當(dāng)我們需要做些改進(jìn)或者要加入自己的技術(shù)和想法時(shí)，原廠“敲詐勒索”要求付出高額的費(fèi)用才配合我們做些有限的變動(dòng)和修改，通常他們所要的費(fèi)用是我們一般國(guó)內(nèi)公司所無(wú)法承受的，最后結(jié)果是不了了之，保持原貌。所以說(shuō)，這么多年來(lái)，中國(guó)應(yīng)該是他們最大的客戶，或者是一流的客戶，但是得到的卻是三流的待遇。在這種境況下，中國(guó)MOCVD的用戶很難開(kāi)發(fā)出屬于自己的真正的核心技術(shù)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)，因?yàn)檎嬲匾墓に嚰夹g(shù)一定是與設(shè)備捆綁在一起的。國(guó)家主管部門(mén)看到了MOCVD的重要性，因此在“十二五”規(guī)劃中明確提出，到2015年實(shí)現(xiàn)MOCVD設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。

　　2013年，國(guó)內(nèi)在MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化方面向前邁進(jìn)了一大步，并且在市場(chǎng)推廣方面取得了階段性的成果。光達(dá)光電、中微半導(dǎo)體、中晟等公司所研制的MOCVD設(shè)備先后得到了各自用戶的認(rèn)可和驗(yàn)證，并得到了很多正面的評(píng)價(jià)，一掃過(guò)去的陰霾。大家從大量的實(shí)驗(yàn)結(jié)果中看到了MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的希望。正是這些公司最近幾年來(lái)不懈的努力，將多年來(lái)人們對(duì)于MOCVD是否能夠國(guó)產(chǎn)化的疑云驅(qū)散，使得MOCVD國(guó)產(chǎn)化逐步成為現(xiàn)實(shí)。從技術(shù)的角度，在初期，國(guó)產(chǎn)的MOCVD主要是在現(xiàn)有的成熟的平臺(tái)上進(jìn)行嘗試和開(kāi)發(fā)，有的采用高速旋轉(zhuǎn)技術(shù)，有的以噴淋頭技術(shù)為主，還有的是采取水平層流式，或是以上3種技術(shù)中某2種技術(shù)的嫁接與組合。不論如何，事實(shí)證明，現(xiàn)有國(guó)產(chǎn)設(shè)備在基本工藝和產(chǎn)出的外延片芯片的性能指標(biāo)上都已經(jīng)達(dá)到了現(xiàn)有進(jìn)口設(shè)備的水平。所以說(shuō)，MOCVD國(guó)產(chǎn)化在技術(shù)開(kāi)發(fā)和技術(shù)落地上已經(jīng)取得了初步的成功，并完成了第一階段的目標(biāo)。當(dāng)然在大批量生產(chǎn)、可靠性、重復(fù)性、成本降低、關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化，進(jìn)一步的創(chuàng)新和各項(xiàng)指標(biāo)優(yōu)化等方面還有大量的工作要做。

　　“崇洋”心理

　　阻礙國(guó)產(chǎn)設(shè)備前進(jìn)

　　人們對(duì)于進(jìn)口設(shè)備的迷信和對(duì)于國(guó)產(chǎn)設(shè)備的懷疑，使得寧愿進(jìn)口設(shè)備也不想去冒任何風(fēng)險(xiǎn)。

　　MOCVD的國(guó)產(chǎn)化面臨著諸多挑戰(zhàn)，除了上面提到的技術(shù)開(kāi)發(fā)和落地外，更大的挑戰(zhàn)在于人們對(duì)于國(guó)產(chǎn)MOCVD的懷疑。

　　先從人們對(duì)于進(jìn)口設(shè)備的迷信和對(duì)于國(guó)產(chǎn)設(shè)備的懷疑談起。由于各種歷史和客觀的原因，目前的現(xiàn)實(shí)是中國(guó)人普遍迷信和喜愛(ài)進(jìn)口商品。這一點(diǎn)，大家心知肚明。更重要的是，不論是Aixtron公司還是Veeco公司，在MOCVD設(shè)備開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)制造方面都有近30年的歷史積累，一家只有3年左右歷史的中國(guó)MOCVD公司如何能夠生產(chǎn)出可以與具有30年經(jīng)驗(yàn)的國(guó)際公司的成熟產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)的MOCVD設(shè)備，在很多人的心目中都會(huì)是一個(gè)大大的問(wèn)號(hào)。所以，開(kāi)始時(shí)大家抱著懷疑和觀望的態(tài)度，等別人試好了，成熟了再用，都想做受益者，不想?yún)⑴c，不想付出，國(guó)產(chǎn)的MOCVD怎么會(huì)有機(jī)會(huì)呢？所以，為了要大家接受和相信國(guó)產(chǎn)的MOCVD，MOCVD的生產(chǎn)廠家必須付出相當(dāng)大的代價(jià)去做，包括補(bǔ)貼給愿意試用的客戶，承擔(dān)所有或大部分費(fèi)用。而且這樣做，還不一定能夠簽下來(lái)訂單。這樣的現(xiàn)實(shí)使得MOCVD制造公司承受了巨大的財(cái)務(wù)和心理壓力，同時(shí)也承擔(dān)了許多的商業(yè)不確定性和風(fēng)險(xiǎn)。