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          車(chē)用TPMS專(zhuān)用傳感器技術(shù)剖析

          作者: 時(shí)間:2012-07-06 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

          為了便于接收器的識(shí)別,每個(gè)壓力傳感器都具有32位獨(dú)特的ID碼,它可產(chǎn)生4億個(gè)不重復(fù)的號(hào)碼。


          圖3壓力、加速度與ASIC/MCU組合封裝在一個(gè)包裝內(nèi)



          圖4壓力/溫度導(dǎo)入孔

          圖5硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)

          圖6加速度傳感器平面結(jié)構(gòu)圖

          圖7加速度傳感器切面結(jié)構(gòu)圖
            
          同樣,加速度傳感器也是用MEMS技術(shù)制作的,圖6是MEMS加速度傳感器平面結(jié)構(gòu)圖,圖7是加速度傳感器切面結(jié)構(gòu)圖,圖中間是一塊用MEMS技術(shù)制作的、可隨運(yùn)動(dòng)力而上下可自由擺動(dòng)的硅島質(zhì)量塊,在其與周邊固置硅連接的硅樑上刻制有一應(yīng)變片,與另外三個(gè)刻制在固置硅上的應(yīng)變片組成一個(gè)惠斯頓測(cè)量電橋,只要質(zhì)量塊隨加速度力擺動(dòng),惠斯頓測(cè)量電橋的平衡即被破壞,惠斯頓測(cè)量電橋就輸出一個(gè)與力大小成線性的變化電壓△V。



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