靜止誤差—NanoPWMvs線性驅(qū)動器
測試結(jié)果在表6中，總結(jié)在表格3中

表6 –NanoPWM（紅色）VS線性驅(qū)動器（黃色）靜止抖動

Table 3 - NanoPWM (紅色) VS 線性驅(qū)動器 (黃色) 靜止抖動

使用NanoPWM驅(qū)動器比使用線性驅(qū)動器時的靜止抖動明顯減小（小4.5倍：0.8nmVr3.6nm）

低速跟隨誤差-NanoPWM VS線性驅(qū)動器.
跟隨誤差是在1mm/s的速度下測量的，測試結(jié)果在表圖7中，總結(jié)在表格4中

圖7 NanoPWM驅(qū)動器（紅色）VS線性驅(qū)動器（黃色）的跟隨誤差

NanoPWM 線性驅(qū)動器

Table 4 - NanoPWM (紅) VS線性驅(qū)動器 (黃) 跟隨誤差

使用NanoPWM驅(qū)動器時跟隨誤差明顯減小，結(jié)果得到跟平滑的運(yùn)動軌跡，這樣的軌跡在晶圓檢測過程中十分重要。

靜止誤差-NanoPWM VS標(biāo)準(zhǔn)PWM驅(qū)動器

測試結(jié)果見圖8，表5進(jìn)行了總結(jié)

圖8-NanoPWM（紅色）vs PWM（黃色）靜止抖動

Table 5 - NanoPWM (紅色) VS PWM drive (黃色) 靜止抖動

使用NanoPWM驅(qū)動器的靜止誤差比使用標(biāo)準(zhǔn)PWM驅(qū)動器小兩個數(shù)量級。平板顯示器加工系統(tǒng)比較龐大，對于馬達(dá)電壓和電流的要求超過了目前商業(yè)化了的線性馬達(dá)的容許能力。有機(jī)LED顯示要求更高的精確度，跟隨精度和靜止抖動，都要在幾個納米的誤差范圍內(nèi)。NanoPWM給這樣的需求提出了解決方案。

總結(jié)
本文介紹了一直新型的線性開關(guān)伺服驅(qū)動器-NanoPWM,這種驅(qū)動器具有線性驅(qū)動器和PWM驅(qū)動器的所有優(yōu)點(diǎn)。使用NanoPWM驅(qū)動器得到的運(yùn)動性能超過了目前已經(jīng)商業(yè)化了的線性伺服驅(qū)動器的性能。這種驅(qū)動器更小，更可靠，更便宜。

這種驅(qū)動器可以滿足更高的運(yùn)動性能需求，適合半導(dǎo)體晶圓檢測和平板顯示器制造系統(tǒng)。