作者: Maksim Apanasenko, Boaz Kramer, Zeev Kirshenboim.
ACS Motion Control

介紹
許多工業(yè)應用, 半導體晶圓檢測測系統(tǒng), 有機發(fā)光二極管平板顯示器生產(chǎn)和檢測，,這些應用要求極其高的運動性能，在低速勻速運動的納米級運動中保持亞納米級的靜止抖動和跟隨誤差。目前線性伺服驅(qū)動已經(jīng)被應用于滿足這些需求。這種類型的驅(qū)動器提供了驚人的性能，可以達到這些應用需要的線性度。但是由于線性伺服驅(qū)動器效率低，熱損耗大，體積大、笨重。新一代450mm半導體比目前的300mm半導體大得多，而且這樣的系統(tǒng)需要驅(qū)動器具有更高的能力，更高的電壓和電流。這就要求線性驅(qū)動器體積非常大，而且能量很有限，因此限制了這個系統(tǒng)的性能和生產(chǎn)量，增加了系統(tǒng)成本，降低了系統(tǒng)可靠性。

NanoPWM是開關(guān)PWM驅(qū)動器的線性化，這種線性化基于一種獨特的專利技術(shù)。

在過去5年中ACS研發(fā)的PWMBoost可以滿足這樣的位置系統(tǒng)。NanoPWM驅(qū)動器提供更好的位置性能和跟隨性能，并且克服了線性驅(qū)動器的缺點。NanoPWM非常緊湊，有更高的效率和可靠性，可以提供更高的能量，電流和電源，而且更經(jīng)濟。

伺服驅(qū)動器的種類
兩種主要的伺服驅(qū)動器：線性驅(qū)動器和開關(guān)PWM驅(qū)動器。

圖1描繪了線性驅(qū)動器的原理框圖。這個驅(qū)動器像一個可變電阻一樣工作，根據(jù)電流需求和負載阻抗調(diào)節(jié)電流。供電電壓被分配在馬達和驅(qū)動器之前。當馬達以低速運行被要求提供大力矩時，電流就是高的，加在馬達上的電壓就是低的，加在驅(qū)動器上的電壓就是高的。此時驅(qū)動器的損耗是很高的。

圖1線性驅(qū)動器的原理圖描述

圖2描述了開關(guān)PWM驅(qū)動的原理圖框圖。驅(qū)動器作為通斷開關(guān)工作。馬達作為平均電流的綜合集成。平均電流是開關(guān)占空比的線性函數(shù)。任意給定時刻開關(guān)或者是斷開的（沒有電流流過開關(guān)）或者是導通的（有低電壓加在開關(guān)上）。因此開關(guān)損耗是很低的。

圖2—PWM驅(qū)動器的原理圖描述

.
表1.各種類型驅(qū)動器的優(yōu)缺點總結(jié)

表1—各種驅(qū)動器的優(yōu)缺點