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          ASMI高k設備向臺灣代工廠出貨 TEL購買ASMI股份

          作者: 時間:2009-04-30 來源:SEMI 收藏

            ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。

          本文引用地址:http://cafeforensic.com/article/93958.htm

            ASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設備,用于28nm節(jié)點柵介質工藝的量產。

            業(yè)界猜測該代工廠是正在開發(fā)28nm金屬柵工藝,但該公司拒絕對細節(jié)進行評論。其競爭對手聯(lián)電也在開發(fā)28nm工藝。



          關鍵詞: 臺積電 高k

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