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用4200A和矩陣開關(guān)搭建自動智能的可靠性評估平臺
- _____在現(xiàn)代ULSI電路中溝道熱載流子（CHC）誘導(dǎo)的退化是一個重要的與可靠性相關(guān)的問題。載流子在通過MOSFET通道的大電場加速時獲得動能。當大多數(shù)載流子到達漏極時，熱載流子（動能非常高的載流子）由于原子能級碰撞的沖擊電離，可以在漏極附近產(chǎn)生電子—空穴對。其他的可以注入柵極通道界面，打破Si-H鍵，增加界面態(tài)密度。CHC的影響是器件參數(shù)的時間相關(guān)的退化，如VT、IDLIN和IDSAT。這種通道熱載流子誘導(dǎo)的退化（也稱為HCI或熱載流子注入）在NMOS和PMOS器件上都可以看到，并會影響所有區(qū)域的器件
- 關(guān)鍵字： 4200A 矩陣開關(guān) 可靠性評估平臺 Clarius軟件 泰克
如何用4200A-SCS進行晶圓級可靠性測試？
- 每個芯片上更多器件和更快時鐘速度的不斷發(fā)展，推動了幾何形狀縮小、新材料和新技術(shù)的發(fā)展。由于更脆弱、功率密度更高、器件更復(fù)雜和新的失效機制，所有這些因素都對單個器件的壽命和可靠性產(chǎn)生了巨大的影響，曾經(jīng)壽命為100年的器件的生產(chǎn)工藝現(xiàn)在可能只有10年的壽命，這與使用這些器件的預(yù)期工作壽命非常接近。較小的誤差范圍意味著，必須從一開始就考慮器件的壽命和可靠性，從設(shè)備開發(fā)到工藝集成再到生產(chǎn)不斷進行監(jiān)控，即使是很小的壽命變化，對今天的設(shè)備來說也可能是災(zāi)難性的。每個芯片上更多器件和更快時鐘速度的不斷發(fā)展，推動了幾何形狀
- 關(guān)鍵字： 泰克科技 4200A-SCS
4200A-CVIV多開關(guān)使測試時間縮短30倍
- 泰克高性能4200A-SCS 是一個模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時進行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測試。
- 關(guān)鍵字： 泰克 4200A-SCS 模塊化 參數(shù)分析儀
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