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化學氣相沉積鍺銻碲化物相變存儲器的商業(yè)化取得重大進展
- ATMI公司(NASDAQ:ATMI)和Ovonyx公司今日宣布,雙方在采用化學氣相沉積(CVD)工藝商業(yè)化生產(chǎn)基于鍺銻碲化物的相變存儲器(PCM)方面取得突破性進展。兩家企業(yè)正在合作開發(fā)的項目獲得重大進步,該化學氣相沉積生產(chǎn)的基于鍺銻碲化物的相變存儲器(PCM)不僅能夠實現(xiàn)按比例縮小,而且是一種具有成本競爭力的存儲器技術。由于具有獨特的性能,相變存儲器(PCM)是存儲器體系中的新生代產(chǎn)品,且是NOR型閃存的替代性產(chǎn)品;PCM還能擠占相當大部分先進技術節(jié)點的DRAM的市場。 此項研究在高長寬比的
- 關鍵字: ATMI PCM
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