Picarro宣布用于半導體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測系統(tǒng)

• Picarro宣布推出經我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測Monitor)。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會影響傳感器的性能。?新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產品到系統(tǒng)解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統(tǒng)的好處包括:?針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統(tǒng)——無集成兼容性問題??Picarro SA
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