液化空氣集團(tuán)電子氣業(yè)務(wù)加強(qiáng)高介電常數(shù)鋯基前驅(qū)體的專利保護(hù)

•     　液化空氣集團(tuán)電子氣業(yè)務(wù)線近日宣布，其應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的前驅(qū)體ZyALD已獲得中國(guó)專利局授予的相關(guān)專利，從而使中國(guó)成為了繼韓國(guó)、新加坡、中國(guó)臺(tái)灣以及部分歐洲國(guó)家之后又一獲得該項(xiàng)專利的國(guó)家。此外，相關(guān)專利的申請(qǐng)工作在其他國(guó)家及地區(qū)也預(yù)期順利。ZyALD及其它類似分子應(yīng)用于高介電常數(shù)沉積鍍膜，該工藝目前已在全球范圍內(nèi)獲得11項(xiàng)專利，另有13項(xiàng)專利正在申請(qǐng)中。 　　ZyALD是上述已獲專利的系列分子中一種重要的鋯前驅(qū)體(功能分子)。該分子能夠在半導(dǎo)體制造工藝中，實(shí)現(xiàn)高溫條
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