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EEPW首頁 >> 主題列表 >> mems壓力傳感器

mems壓力傳感器文章進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器的開環(huán)特性測試

在1954年貝爾實(shí)驗(yàn)室Smith發(fā)現(xiàn)了硅壓阻效應(yīng)，促使了微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)的誕生和迅速發(fā)展，并首先在硅微機(jī)械傳感...
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優(yōu)化移動(dòng)控制：發(fā)揮旋轉(zhuǎn)變壓器的最大效能

設(shè)計(jì)在艱苦環(huán)境中運(yùn)行的動(dòng)作控制系統(tǒng)時(shí)，對于工程師們來說，最頭痛的事情是尋找到能夠提供各個(gè)運(yùn)動(dòng)的機(jī)器元件精...
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實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)系統(tǒng)的精確定位

在很多使用氣缸的氣動(dòng)控制系統(tǒng)中，僅僅依靠對活塞位置的測定已滿足不了用戶對高精度的要求。只有連續(xù)不斷地位...
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使用加速度計(jì)的低功率模式和自動(dòng)喚醒/休眠模式

加速度計(jì)是常用于手持電子和/或電池供電的電子器件。整個(gè)系統(tǒng)的耗電量是產(chǎn)品設(shè)計(jì)的重要特性。用戶希望不必...
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暖通空調(diào)中的傳感器應(yīng)用

暖通空調(diào)的概念包括采暖（Heating）、通風(fēng)（Ventilation）、空調(diào)（AirCondition），因此與中央空調(diào)相比具有更廣義的概念...
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壓力變送器的工作原理及應(yīng)用

google_protectAndRun(ads_core.google_render_ad,google_handleError,google_render_ad);壓力變送器...
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利用超聲傳感器進(jìn)行精確的液位檢測

在實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化中要用到大量的微生物培養(yǎng)用孔板和試管對液體進(jìn)行分析。采用新的超聲傳感器，能夠快速地、以精...
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淺談溫度傳感器

溫度是一個(gè)基本的物理量，自然界中的一切過程無不與溫度密切相關(guān)。溫度傳感器是最早開發(fā)，應(yīng)用最廣的一類傳感器...
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多元傳感檢測系統(tǒng)：測量復(fù)雜工件的最佳選擇

OGPSmartScope多元傳感測量系統(tǒng)用於三維尺寸測量，該系統(tǒng)利用兩個(gè)或多個(gè)不同傳感器技術(shù)從工件表面獲取數(shù)據(jù)點(diǎn)...
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傾角傳感器在工程設(shè)備上的應(yīng)用

現(xiàn)在越來越多的工程機(jī)械設(shè)備從傳統(tǒng)的機(jī)械—液壓系統(tǒng)向電子—液壓系統(tǒng)轉(zhuǎn)變，特別是CANBus總線的廣泛應(yīng)用為工程...
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車用傳感器的開發(fā)趨勢及預(yù)測

全球傳感器市場正呈現(xiàn)出快速增長態(tài)勢。據(jù)悉，2008年全球傳感器市場容量為506億美元，預(yù)計(jì)2010年全球傳感器市場...
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化工廠中的智能傳感器

一般的傳感器只能作為敏感元件，須配上變換儀表來檢測物理量、化學(xué)量等的變化。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了智...
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汽車傳感器--系統(tǒng)整合的未來

固態(tài)傳感器在汽車上的應(yīng)用越來越廣泛，這提高了系統(tǒng)的整合水平。系統(tǒng)設(shè)計(jì)師也通過所謂的“傳感器融合”方式在...
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集成壓力傳感器的無源胎壓監(jiān)控系統(tǒng)

2002年，由于凡世通(Firestone)輪胎的質(zhì)量問題，造成了超過100人死亡和400人受傷的事件，引起了汽車業(yè)和美國政府...
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電子傾角傳感器在塔吊監(jiān)控中的應(yīng)用

google_protectAndRun(ads_core.google_render_ad,google_handleError,google_render_ad);隨著建筑業(yè)...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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