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汽車MEMS傳感器應用及發(fā)展
- 本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結構，同時對該領域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。
- 關鍵字： 汽車傳感器 微機電系統(tǒng) 力敏器件
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