AMHS
FabEX是一種優(yōu)化的、“無需等待”的自動(dòng)物料傳送系統(tǒng)，擁有其專利技術(shù)，傳送晶圓盒的速度非常快（>3米/秒），因而，能縮短生產(chǎn)周期，提高設(shè)備的利用率和增加生產(chǎn)產(chǎn)能。與采用傳統(tǒng)運(yùn)輸裝置或者懸吊式搬運(yùn)車輛的AMHS...... [查看詳細(xì)]
