1月9日訊，隨著下游市場需求爆發(fā)、成本優(yōu)勢顯現(xiàn)，F(xiàn)D-SOI工藝技術逐漸受到市場的青睞。

　　江豐電子、富創(chuàng)精密等公司近日宣布擬認購中科同芯的合伙份額，用于投資基于FD-SOI工藝的國產(chǎn)晶圓制造廠商銳立平芯的股權。中科同芯總規(guī)模將達4.5億元，投資人囊括概倫電子、北方華創(chuàng)、安集科技等8家半導體產(chǎn)業(yè)鏈上市公司。

　　值得關注的是，銳立平芯發(fā)力FD-SOI工藝技術，不僅豐富了國內晶圓制造技術路線，而且未來有望繞開EUV發(fā)力先進制程邏輯芯片制造，幫助本土半導體開辟新賽道。

　　豐富國內晶圓制造技術路線

　　近日，江豐電子和富創(chuàng)精密先后發(fā)布了對外投資公告，擬分別出資3000萬元、8000萬元認購廣州中科同芯半導體技術合伙企業(yè)(以下稱“中科同芯”)的合伙份額。同時參與此次認購的，還有北方華創(chuàng)、江豐同創(chuàng)半導體產(chǎn)業(yè)基金。

　　此外，上述4家投資者增資入股之前，已有中科齊芯、安集科技、北京君正、南大光電、芯源微、概倫電子等7家投資機構。本次交易完成后，中科同芯總規(guī)模將達4.5億元，投資人囊括8家半導體產(chǎn)業(yè)鏈上市公司。

　　據(jù)了解，中科同芯系投資平臺，僅投資于銳立平芯微電子(廣州)有限責任公司(以下稱“銳立平芯”)的股權。銳立平芯是采用FD-SOI(即全耗盡型絕緣體上硅技術)平面工藝的先進制程晶圓代工廠，本輪融資主要用于產(chǎn)能建設及工藝研發(fā)。

　　“本次投資中科同芯，主要是希望進一步完善產(chǎn)業(yè)布局。公司未來會根據(jù)它的需求做相應的研發(fā)，提供靶材和零部件等材料?！苯S電子相關負責人向《科創(chuàng)板日報》記者表示，大家比較認可這個項目，本次參與認購的投資機構屬于第二批。

　　資料顯示，銳立平芯成立于2022年3月17日，聚焦打造FD-SOI工藝平臺。截至發(fā)稿日，廣州灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)集團、澳芯集成分別持股55.56%、44.44%，由國家科技重大專項02專項技術總師、中國半導體協(xié)會集成電路分會理事長、原中國科學院微電子研究所所長葉甜春擔任公司董事長兼總經(jīng)理。

　　“從技術性能本身來講，F(xiàn)D-SOI技術系統(tǒng)非常適合現(xiàn)在，尤其適用于移動通信、IOT、汽車電子等市場領域。國內廠商此時發(fā)力FD-SOI技術，不僅能夠滿足下游市場需求，而且進一步豐富國內技術路線。”華芯金通投資基金創(chuàng)始合伙人吳全告訴記者，半導體產(chǎn)業(yè)鏈公司入股、相互協(xié)同，有利于助推國內FD-SOI生態(tài)體系建設。

　　據(jù)悉，F(xiàn)D-SOI和FinFET(即鰭式場效應晶體管)都是晶圓制造領域關鍵的先進工藝技術，但由于多種原因，F(xiàn)inFET占據(jù)目前市場主流位置。國際上僅格芯、三星、意法半導體等龍頭廠商采用雙技術路線方案，國內幾乎無一家晶圓廠去發(fā)展FD-SOI工藝。

　　中芯國際相關人士向記者坦言，目前公司沒有FD-SOI技術。“晶圓制造技術架構體系有著較高的技術壁壘，廠商面臨著復雜程度、高研發(fā)投入及未來走向等多重因素考驗，多數(shù)廠商扎根一個架構體系?！?/span>

　　繞開EUV發(fā)力先進制程

　　上述知情人士告訴者，廣州市政府對FD-SOI技術寄予厚望，期望將銳立平芯打造成世界級FD-SOI集成電路制造基地，助力粵港澳大灣區(qū)建設“國家集成電路第三極”。

　　據(jù)悉，葉甜春目前同時兼任廣東省大灣區(qū)集成電路與系統(tǒng)應用研究院院長(以下稱“研究院”)，該研究院由中國科學院集成電路創(chuàng)新研究院與廣州高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會共同發(fā)起成立，屬于省級事業(yè)單位。

　　研究院聚焦FD-SOI核心關鍵技術，構建以FD-SOI工藝、器件、材料、EDA技術為核心的FD-SOI創(chuàng)新生態(tài)體系。研發(fā)方向上則覆蓋2X納米FD-SOI產(chǎn)業(yè)技術、1X納米及以下FDS-OI先導工藝、基于FD-SOI工藝的量子計算等領域的研究。

　　值得關注的是，隨著后28nm時代的來臨，格芯、意法半導體等廠商正加大FD-SOI技術領域的投入力度，再度與FinFET相競爭。

　　2022年4月，CEA(即法國原子能和替代能源委員會)、Soitec、格芯及意法半導體計劃聯(lián)合制定行業(yè)的下一代FD-SOI技術發(fā)展規(guī)劃，促進FD-SOI在汽車、物聯(lián)網(wǎng)和移動應用中的應用。意法半導體甚至重啟了向1X納米工藝節(jié)點的進軍，在先進制程方面明確選擇了FD-SOI技術路線為突破重點。

　　對國內而言，葉甜春曾對外直言，F(xiàn)D-SOI工藝可幫助本土半導體開辟新賽道，未來5-10年FD-SOI技術將代替目前主流的FinFET技術。尤其是先進光刻技術被禁后，F(xiàn)D-SOI技術路線能夠幫助國內廠商未來繞開EUV發(fā)力先進制程邏輯芯片制造。

　　“在14nm被國外限制的情況下，國產(chǎn)廠商可以通過22nm FD-SOI工藝來升級或替代相關技術需求。且FD-SOI在設計和制造成本上具有優(yōu)勢，開發(fā)周期更短?！表f豪創(chuàng)芯高級投資經(jīng)理方亮向記者解釋稱，22nm FD-SOI工藝比14nm FinFET制程簡單，光罩數(shù)減少12%左右，光罩成本減少35%，可以抵消SOI晶圓帶來的成本增加。

　　此外，葉甜春曾提到，國產(chǎn)平面工藝設備自主率高達70%，有能力支撐FD-SOI技術開發(fā)?！叭绻唤üS，F(xiàn)D-SOI做不起來。需要既把工廠建起來，同時建立起相應的集成電路設計環(huán)境、引導新一批設計公司，引導國內的裝備企業(yè)、材料企業(yè)和零部件企業(yè)集聚，打造基于FD-SOI的全生態(tài)上下游，努力在集成電路領域實現(xiàn)科技自立自強。如果以產(chǎn)品發(fā)布為標志，在大家的共同努力下，預計4年形成基本的產(chǎn)業(yè)規(guī)模?！?/p>