近日，天準科技（股票代碼：688003.SH）參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（下文簡稱“矽行半導(dǎo)體”）重磅宣布，其首臺面向12英寸晶圓65~90nm技術(shù)節(jié)點的寬波段明場缺陷檢測設(shè)備TB1000正式交付客戶。

伴隨著這款產(chǎn)品的交付，矽行半導(dǎo)體創(chuàng)造了一個里程碑，這也是中國半導(dǎo)體前道缺陷檢測裝備產(chǎn)業(yè)的一次重大突破。

國產(chǎn)明場缺陷檢測設(shè)備的新篇章

在半導(dǎo)體制造流程中，前道瑕疵檢測是當之無愧的關(guān)鍵工序之一，尤其是明場缺陷檢測，能夠檢測更廣泛的缺陷類型，是其中最為關(guān)鍵的一環(huán)，是提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進工藝迭代的保障。同時，明場缺陷檢測設(shè)備也是技術(shù)難度最高的前道檢測設(shè)備，一直以來被國外龍頭企業(yè)壟斷，而矽行半導(dǎo)體就是為了打破這個局面而生的。

矽行半導(dǎo)體的技術(shù)骨干全部來自國內(nèi)外知名大學(xué)，博碩比例超過80%，擁有多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗，旨在打造國內(nèi)乃至全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體檢測裝備龍頭企業(yè)。此次推出明場缺陷檢測設(shè)備是矽行半導(dǎo)體實現(xiàn)的重要突破，也代表著中國在半導(dǎo)體光學(xué)檢測設(shè)備領(lǐng)域邁出了更加堅實的一步。

TB1000實現(xiàn)了精密光機電關(guān)鍵核心部件的自主可控，同時采用了先進的信號處理算法，有效提高信噪比，顯著提升了設(shè)備在關(guān)鍵制程的缺陷檢測靈敏度。

對于天準科技而言，TB1000的面世，進一步完善了公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品版圖。

天準科技的多路突圍

天準科技致力打造卓越視覺裝備平臺企業(yè)，近年來不斷加大半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域布局，是公司持續(xù)構(gòu)建強大戰(zhàn)略產(chǎn)品矩陣的重要舉措。在2020年，公司啟動收購德國MueTec公司，以提供包括Overlay量測、CD量測、宏觀缺陷檢測等多款面向前道晶圓和掩膜的高精度光學(xué)量測與檢測設(shè)備。

天準科技和MueTec通過聯(lián)合研發(fā)，積極推進其產(chǎn)品線技術(shù)升級，2022年成功推出面向更高端技術(shù)節(jié)點的Overlay產(chǎn)品并已交付客戶。同時加強MueTec現(xiàn)有產(chǎn)品的市場推廣，其高速全自動宏觀缺陷檢測產(chǎn)品Argos系列已獲得知名客戶的批量訂單。

除收購MueTec以外，天準科技還推動成立了矽行半導(dǎo)體，布局挑戰(zhàn)更大的半導(dǎo)體微觀缺陷檢測設(shè)備領(lǐng)域。

通過海外并購、戰(zhàn)略投資和自主研發(fā)等多種途徑，天準科技加快了在半導(dǎo)體前道量測及檢測領(lǐng)域的布局，打造了包括晶圓微觀缺陷檢測、Overlay量測、CD量測、掩膜量測與檢測和晶圓宏觀缺陷檢測等系列產(chǎn)品組合。

助力半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化

盡管相較國際半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)，國內(nèi)半導(dǎo)體前道量測與檢測設(shè)備公司在進入市場時間、經(jīng)營規(guī)模、產(chǎn)品種類、技術(shù)發(fā)展等方面相對落后，但近年來國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，屢創(chuàng)佳績的天準科技更是其中的典型代表。

未來，天準科技將充分發(fā)揮多年來在技術(shù)、人才和產(chǎn)品戰(zhàn)略等方面的儲備和先發(fā)優(yōu)勢，以實現(xiàn)技術(shù)全面突圍，助力半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化，建設(shè)國際一流半導(dǎo)體量測與檢測設(shè)備公司。