大約10年前，歐盟出臺了限制鉛、水銀等6種有害材料使用的法案，在電子產(chǎn)業(yè)界掀起了軒然大波。最近歐盟開始了RoHS法案的修改議程，曾經(jīng)擁有豁免權的電子電氣設備和半導體光伏制造設備面臨新一輪考驗。SEMI RoHS工作組正積極與歐盟相關部門溝通，力爭避免檢測與控制設備、相關零部件等被列入RoHS法案的這一最壞可能性。