Veeco發(fā)表用于生產(chǎn)高亮度 LED的MaxBright GaN MOCVD
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日前，Veeco發(fā)表一款新型MOCVD產(chǎn)品：TurboDisc MaxBright?氮化鎵(GaN)有機金屬化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)多反應(yīng)器系統(tǒng)，用于生產(chǎn)高亮度 LED。
本文引用地址：http://cafeforensic.com/article/116695.htmVeeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange ?集群架構(gòu)自動化技術(shù)在一個模塊化的兩個或四個反應(yīng)器通過組合高通量金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器。
該MaxBright反應(yīng)堆，在K465i的基礎(chǔ)上經(jīng)過生產(chǎn)驗證，既擴大了晶圓的生產(chǎn)能力和，同時保證了均勻性、重復(fù)性和材料的質(zhì)量。MaxBright MOCVD系統(tǒng)可提供生產(chǎn)能力達216 × 2”，56 × 4”，24 × 6”或12 × 8”晶圓。此外，無縫轉(zhuǎn)移MaxBright能使客戶實現(xiàn)快速生產(chǎn)。
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