中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）今日宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD設備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。

中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數(shù)領先的藍綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3^TM是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產(chǎn)品。該設備是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備，反應腔最高溫度可達1400度，具有優(yōu)異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產(chǎn)量而設計，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。

中微公司Prismo HiT3^TM MOCVD設備早期的客戶包括國內領先的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫(yī)療和科研設備等領域有廣泛應用。

深紫外光幾十年前就被應用于工業(yè)和民用消毒殺菌領域。它通過破壞細菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對環(huán)境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增，深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領域最先進的技術解決方案（例如杰生半導體的深紫外LED產(chǎn)品）。

中微公司設計的Prismo HiT3^TM MOCVD設備具有新穎的腔體設計，能在高溫環(huán)境下生長高質量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內領先的深紫外LED高產(chǎn)出率；同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產(chǎn)能。真空自動化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動化升降機構可方便維護操作并有效節(jié)省維護時間。

“我們現(xiàn)在已經(jīng)看到了深紫外LED帶來的切實好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具?！苯苌雽w有限公司董事長康健說道，“隨著深紫外LED技術的持續(xù)發(fā)展，我們?yōu)槟軌蛟诠埠图彝ハ井a(chǎn)品領域處于領先地位而感到自豪。中微公司設計的Prismo HiT3^TM MOCVD設備可以滿足深紫外LED大批量、低生產(chǎn)成本的制造需求。中微公司憑借其世界一流的工藝專長和高性能的MOCVD設備解決方案，是值得信賴的合作伙伴。”

“中微自主研發(fā)的Prismo HiT3^TM MOCVD設備延續(xù)了我們現(xiàn)有Prismo平臺已驗證的主要創(chuàng)新功能，并提升了可在高溫工藝環(huán)境下生長氮化鋁基材料的性能，使之拓展到深紫外LED的應用?！敝形⒐緢?zhí)行副總裁兼首席運營官杜志游博士說道，“杰生半導體始終致力于持續(xù)發(fā)展LED技術并創(chuàng)造有益于人類健康的產(chǎn)品，我們很高興杰生成為我們的早期用戶，同時也很榮幸我們的設備解決方案能夠助力客戶研發(fā)下一代深紫外LED產(chǎn)品，并在技術研發(fā)和成本控制上幫助客戶達成目標?！?/p>

Prismo HiT3^TM是中微公司的注冊商標。