近日，中國科學院微電子研究所微波器件與集成電路研究室太赫茲器件研究組研制出截止頻率達到3.37THz的太赫茲肖特基二極管和應用于太赫茲頻段的石英電路。該器件作為太赫茲倍頻器核心元件，經(jīng)中電集團41所驗證，性能與國際同類產品相當。

　　據(jù)了解，太赫茲波指的是頻率在0.1THz至10.0THz范圍的電磁波，被美國評為“改變未來世界的十大技術”之一。它在安全檢查、無損探測、天體物理、生物以及軍事科學等諸多科學領域有著重要的應用。具有極高截止頻率的肖特基二極管能夠在室溫下實現(xiàn)太赫茲波的混頻、探測和倍頻，是太赫茲核心技術之一。

　　由微電子所研究員金智領導的研究組針對太赫茲電路的關鍵技術開展研究，突破多項關鍵制作工藝，有效地降低了器件的串聯(lián)電阻和寄生電容，實現(xiàn)了可在太赫茲頻段應用的肖特基二極管，其最高截止頻率達到3.37THz，可廣泛應用于太赫茲波的檢測、倍頻和混頻。