MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器在汽車、手機、個人電腦、相機等各種應(yīng)用中屢見不鮮，但是直到現(xiàn)在，這類傳感器還未用于吉他領(lǐng)域。本文作者將探究以下問題的答案：如何采用MEMS加速度計作為聲學(xué)傳感器。
　　
MEMS加速度計技術(shù)

典型的MEMS加速度計的核心單元是一個由兩組指狀柵條組成的可移動條形結(jié)構(gòu)：其中一組固定到襯底上，而另一組則安裝到一組彈簧上的質(zhì)量塊上，該彈簧能夠根據(jù)所施加的力產(chǎn)生移動，改變固定柵條與移動?xùn)艞l之間的電容（見圖1）。

圖1 MEMS加速度計的結(jié)構(gòu)

MEMS結(jié)構(gòu)（見圖2）通常采用單晶硅制成，或者采用以極高的溫度沉積到單晶硅晶圓表面上的多晶硅。采用這一靈活的技術(shù)可以制成機械特性差異很大的結(jié)構(gòu)。彈簧剛度、感測元件的質(zhì)量以及結(jié)構(gòu)阻尼都可以通過設(shè)計進(jìn)行控制和改變，從而實現(xiàn)可感應(yīng)從零點幾個g到數(shù)百個g的帶寬高達(dá)20kHz的傳感器。

圖2 ADXL50 MEMS加速度計結(jié)構(gòu)的顯微圖

MEMS感測單元可以與同一芯片（見圖3）或者不同芯片上（見圖4）的信號調(diào)理電路相連。對于單芯片解決方案而言，感測單元的電容可以低至1～2fF，相當(dāng)于aF范圍的量測分辨率。在雙芯片結(jié)構(gòu)中，MEMS單元的電容必須足夠高，以便能夠克服MEMS與ASIC調(diào)理電路之間連接線的寄生電容效應(yīng)。

圖3 ADXL202 ±2g加速度計

圖4 典型雙芯片加速度計的橫截面圖

作為震動測量傳感器的加速度計

使用震動感測傳感器作為樂器中的拾音器，這并不是一個新的概念。壓電式以及電磁式傳感器是目前許多拾音器應(yīng)用的基礎(chǔ)。微型MEMS加速度計的尺寸小、外形薄，因此不會在樂器中產(chǎn)生機械或質(zhì)量負(fù)荷效應(yīng)，這使得它們對于這些應(yīng)用極具吸引力；但是由于商用加速度傳感器的帶寬極低，這類加速度計的應(yīng)用到目前為止一直都受到限制。

加速度計技術(shù)方面的一些最新突破性進(jìn)展使得具有非常高帶寬但又非常小的加速度計實現(xiàn)了量產(chǎn)。ADI公司采用5mm×5mm×2mm封裝尺寸的ADXL001（見圖5）高g（±70～±500g）單軸加速度計的帶寬就已經(jīng)達(dá)到22kHz。這款產(chǎn)品可以通過檢測設(shè)備聲學(xué)特性的變化來確定電機或其他工業(yè)設(shè)備的“健康”狀況。不過，這種特殊傳感器要用作樂器的聲學(xué)震動傳感器還不夠靈敏。理想的聲學(xué)傳感器需要測量所有3個軸向上的響應(yīng)，而它卻只能感應(yīng)單軸運動。然而目前已經(jīng)證明，采用MEMS技術(shù)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)全音頻帶寬內(nèi)的加速度傳感器。

圖5 ADXL001的頻率響應(yīng)曲線

低g加速度計可以測量低至千分之一g級的加速度，但帶寬一般被限制在5kHz左右。這一限制的原因可能是需要很高帶寬的商業(yè)應(yīng)用太少（主要的應(yīng)用包括人的運動或者重力引起的加速度檢測），故業(yè)界缺乏足夠的動力去開發(fā)特別適用于音頻頻段測量的傳感器。

三軸加速度計具有三個獨立的輸出，能夠測量沿笛卡兒坐標(biāo)系中X、Y、Z軸方向的加速度。舉例來說，ADI公司的ADXL330三軸低g加速度計在X軸以及Y軸上具有高達(dá)6kHz的帶寬，而在Z軸上的帶寬約為1kHz。雖然還不夠理想，但這個帶寬已經(jīng)使得該器件可以獲取音頻頻段上的有用信息。其輸出為模擬信號，故很容易用于標(biāo)準(zhǔn)的錄音設(shè)備。由于其尺寸小于4mm×4mm×1.45mm（見圖6），因此該傳感器可以放入極小的空間中，在響應(yīng)被測系統(tǒng)時不會產(chǎn)生質(zhì)量負(fù)荷或者其他改變。下面將介紹這款低g加速度計如何用作吉他的拾音器。

圖6 ADXL330 MEMS加速度計

聲反饋

丹麥科學(xué)家Soren Larsen在上世紀(jì)20年代中期首次引入了全向電容式動態(tài)麥克風(fēng)，是他最早發(fā)現(xiàn)了聲反饋原理（稱為Larsen效應(yīng)）。對聲學(xué)工程師來說，聲反饋一直都是一個噩夢，很少有工程師能夠完全控制它，特別是在任何演出現(xiàn)場都不可避免。甲殼蟲樂隊充分感受到了這種偽聲的影響，繼而在1964年決定將其添加到他們經(jīng)典的專輯“I Feel Fine”的序曲中。隨后搖滾樂界也開始像馴服野獸一樣利用它，利用聲音反饋在搖滾樂中增添了令人耳目一新的特色。而電吉他手，如Pete Townshend和Jimi Hendrix，則故意地把吉他靠近揚聲器來利用聲反饋。隨著這種風(fēng)潮的消退，聲學(xué)工程師繼續(xù)努力消除聲反饋所引起的令人不適的聽覺效果，特別是在現(xiàn)場演出過程中。在設(shè)備齊全并經(jīng)過特殊聲學(xué)處理的錄音棚里，利用全向麥克風(fēng)可以完美地錄制樂器聲音，幾乎達(dá)到驚人的現(xiàn)場感和保真度。理解并珍惜這一點的藝術(shù)家一直都在孜孜不倦地尋求如何能夠把這種效果重現(xiàn)在舞臺上。雖然希望能夠以錄音棚一樣的質(zhì)量來錄制現(xiàn)場演出一直都是音樂人的夢想，但這幾乎是不可能的。即使在舞臺上采用最好的音響設(shè)備，舞臺也經(jīng)過了極佳的聲學(xué)設(shè)計，聲音工程師也能精通地利用各種混響并可以擁有最佳的設(shè)備和工具，但要獲得理想的音效仍然存在著一道難以逾越的障礙：那就是聲反饋。
　　
拾音器

通過采用方向性麥克風(fēng)通?？梢园崖暦答仠p到最小。某種程度上這種方法是有效的，不過需要調(diào)音工程師不停地調(diào)節(jié)，來適應(yīng)舞臺瞬息萬變的特點。

利用拾音器可以對樂器聲音進(jìn)行放大。所采用的各種技術(shù)具有一定差異，但基本的原理都是直接感應(yīng)樂器本身的震動，而并非感測空中的聲波。這種做法的優(yōu)點很明顯，即拾音器幾乎不會產(chǎn)生聲反饋，原因是它們對空氣中傳遞的聲波不敏感。但這種方法也有許多不足：包括要在樂器上找到最佳的發(fā)聲位置是極其困難的，壓電拾音器的聲學(xué)特性也遠(yuǎn)遠(yuǎn)算不上完美，它們的輸出阻抗為高阻，故需要特殊的樂器輸入或直駁盒。此外，體積也較大，會影響樂器本身的自然聲學(xué)特性。

于是，這催生了輕質(zhì)接觸式麥克風(fēng)的概念。假如我們采用一個表面式傳感器來測量樂器本體的加速度，最好是具有單軸以上功能。這種傳感器具有更好的線性度，重量輕，從而不會影響被測樂器的聲音特性。還可以進(jìn)一步假定這些傳感器具有類似的輸出電平、輸出阻抗，以及功率需求與傳統(tǒng)麥克風(fēng)相當(dāng)。簡言之，就是設(shè)想音樂人只需將該傳感器插入到麥克風(fēng)前置放大器或混音器輸入的位置，就像任何其他麥克風(fēng)一樣。
　　
接觸式麥克風(fēng)

用心的讀者一定會注意到我們在前面已經(jīng)提到了加速度的概念。人耳響應(yīng)的是聲壓，故麥克風(fēng)也被設(shè)計成聲壓感測功能。為了簡化討論，這里直接給出一個結(jié)論，即一個靠近震動體的聲壓與加速度成正比。問題是加速度計具有多高的帶寬方可用作接觸式麥克風(fēng)？

為了研究清楚這個概念，我們將一個三軸加速度計貼裝到吉他上作為一個拾音器。對樂器的震動進(jìn)行測量，并與內(nèi)置的壓電拾音器以及靠近吉他的MEMS麥克風(fēng)進(jìn)行比較。所用的吉他為Fender Stratacoustic，帶有內(nèi)置的Fender拾音器。在重量很輕的柔性電路上貼裝了一個模擬輸出的MEMS加速度計，并用蜂蠟將其貼裝到吉他的琴橋位置，如圖7所示。加速度計的X軸與吉他弦線的方向一致，Y軸與吉他弦線垂直，而Z軸則與吉他表面垂直。把一個平坦頻率響應(yīng)達(dá)到15kHz的MEMS麥克風(fēng)貼裝到距弦線3英寸遠(yuǎn)的位置作為參考。