1 應(yīng)變測量原理
半導(dǎo)體應(yīng)變片可用于應(yīng)力測量和應(yīng)力分析，以及作為各種傳感器的力一電轉(zhuǎn)換元件，它基于金屬絲在受拉或受壓后發(fā)生彈性形變，其電阻值也隨之產(chǎn)生相應(yīng)的變化這一物理特性實現(xiàn)的。
在金屬絲變形的彈性范圍內(nèi)，電阻的相對變化△R／R與應(yīng)變△L／L成正比，因而△R／R=K△L／L。其中，K為電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)。用應(yīng)變片測量應(yīng)變或應(yīng)力時，是將應(yīng)變片粘貼于被測對象上，在外力作用下，被測對象表面產(chǎn)生微小機(jī)械變形，粘貼在其表面上的應(yīng)變片亦隨其發(fā)生相同的變化，因此應(yīng)變片的電阻也發(fā)生相應(yīng)的變化。當(dāng)壓力F在一定范圍內(nèi)時，應(yīng)變εx以一個常數(shù)正比于F。

式中：L為兩孔中心距的50％；E為梁的彈性模量；b為梁的寬度；h為孔上下最薄處的厚度。
如圖1所示，在雙孔梁的上下兩端面分別對應(yīng)孔的頂端處貼上電阻應(yīng)變片，將它們按圖1(b)所示的方式組成全橋測量電路。這種橋式測量電路，可以靈敏地測量極微小的電阻變化。當(dāng)彈性體受物體作用時，彈性體便產(chǎn)生彈性形變，粘在其表面的電阻應(yīng)變片則隨其同步變形，因而改變了它們的電阻值。由于電阻應(yīng)變片組成的橋式電路是平衡的，而電阻應(yīng)變片的電阻變化會引起電橋的不平衡，因而輸出電壓信號，該信號與梁端的受力F成正比。

當(dāng)力F使單個應(yīng)變片的電阻變化△R時，全橋測量電路的輸出電壓U0=U△R／R。應(yīng)變測試過程如圖2所示。

其中，信號調(diào)理電路包括信號放大和濾波，其作用是對信號進(jìn)行必要的調(diào)理。如果選用NI公司具有信號調(diào)理模塊的數(shù)據(jù)采集卡，則不必再另外設(shè)計信號調(diào)理電路。本文選用LabJack公司的U12數(shù)據(jù)采集卡作為數(shù)據(jù)采集設(shè)備，設(shè)計信號調(diào)理電路。

2 應(yīng)變片選用――BP型半導(dǎo)體應(yīng)變片
BP型半導(dǎo)體應(yīng)變片可用于應(yīng)力測量和應(yīng)力分析，并作為各種傳感器的力-電轉(zhuǎn)換元件。它們具有靈敏度高(比金屬應(yīng)變片大50～100倍左右)，機(jī)械滯后小，體積小，耗電少等優(yōu)點。其高的靈敏度使輸出信號電平增大幾十倍，所以不必采用放大器而直接用電壓表或示波器等簡單儀表就可以直接記錄測量結(jié)果，因而使得測量儀表大為簡化；再加上它的機(jī)械滯后小，可以測量靜態(tài)應(yīng)變、低頻應(yīng)變等，在許多新技術(shù)中，如火箭、導(dǎo)彈、飛機(jī)等制造工業(yè)及遙測系統(tǒng)中，半導(dǎo)體應(yīng)變片具有獨特的應(yīng)用價值。
BP-6-120型半導(dǎo)體應(yīng)變片技術(shù)參數(shù)：
硅絲尺寸為6mm×0．4 mm×0．05 mm；基底尺寸為10 mm x 6 mm；靈敏系數(shù)120；電阻溫度系數(shù)小于0．2％；靈敏度溫度系數(shù)小于0．16％；允許工作電流25 mA；允許最大應(yīng)變2 000με；極限工作溫度100℃。

3 信號濾波電路
從應(yīng)變片組成的電橋電路中出來的電壓信號通常會伴隨著噪聲、振動等于擾，為了得到較為準(zhǔn)確的低頻應(yīng)變信號，在將采集到的應(yīng)變信號送到計算機(jī)之前，需要進(jìn)行濾波處理。雙二階環(huán)濾波電路利用兩個以上的加法器、積分器等組成的運(yùn)算放大電路，根據(jù)要求的傳遞函數(shù)，引入適當(dāng)?shù)姆答?，?gòu)成濾波電路。其突出特點是電路靈敏度低，特性非常穩(wěn)定，并可實現(xiàn)多種濾波功能，這里使用低通濾波。具體電路如圖3所示。

構(gòu)成低頻濾波器時，電路固有頻率和通帶增益如下：

4．1 電阻片的溫度效應(yīng)
電阻片由金屬材料制成，它的阻值隨著溫度的變化也將產(chǎn)生變化。另外，由于試件和電阻材片的線性膨脹系數(shù)不同，從而會使電阻片的阻值發(fā)生變化。溫度變化引起的電阻變化是客觀存在的，但不希望在測量結(jié)果中反映出來。