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          華南理工大學(xué)教授彭俊彪:用Ln-IZO攻破國外IGZO技術(shù)壁壘

          作者: 時間:2016-06-29 來源:中國電子報 收藏

            不管是LCD,還是OELD,都與TFT技術(shù)擁有密切的聯(lián)系,所以TFT驅(qū)動技術(shù)是顯示技術(shù)的基礎(chǔ)。新一代顯示正在往大尺寸、高分辨率、快速響應(yīng)速度、高對比度、柔性和超薄方向發(fā)展,這就對TFT技術(shù)提出更高的要求——高遷移率、高可靠性、低成本、耐彎折。

          本文引用地址:http://cafeforensic.com/article/201606/293283.htm

            目前,TFT有a-Si、Oxide和LTPS三種制備工藝流程,其中Oxide TFT作為新一代TFT技術(shù),具有可大面積制備、抗彎折特性好、成本低、容易集成等優(yōu)勢,在新型顯示、柔性電子及IC、Sensor等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。

            但 是傳統(tǒng)的材料體系為國外發(fā)明,國內(nèi)不掌握專利,而且其遷移率偏低,穩(wěn)定性有待提升。華南理工大學(xué)教授彭俊彪說:“我們在摻雜稀土的IZO材料體系 方面取得了突破,開發(fā)了機(jī)遇鑭系稀土(Ln)的新型IZO靶材()配方。 TFT綜合性能可以滿足驅(qū)動AMOLED的要求。”

            而 且BCE(Back Channel Etch:反向通道蝕刻)這種新型結(jié)構(gòu)通過特殊的辦法保護(hù)有源層,工藝制程簡單,接觸電阻低、成本降低,是目前工業(yè)界急需的技術(shù)。彭俊彪指出,BCE結(jié)構(gòu) 受重視,是因為BCE結(jié)構(gòu)在材料品類選擇上下了一些工夫,它在實現(xiàn)高分辨率和超高分辨率的時候優(yōu)勢非常明顯。我們把握BCE結(jié)構(gòu)材料體系,結(jié)合自身的工 藝,做出了BCE Oxide TFT。新型BCE Oxide TFT優(yōu)勢非常明顯,低成本并且與現(xiàn)有工藝兼容性高,遷移率、穩(wěn)定性等方面達(dá)到或超過ESL(Etch Stop Layer:腐蝕停止層)結(jié)構(gòu)性能,同時還可以減少背光遮擋進(jìn)而降低功耗。

            據(jù)了解,沿著Oxide TFT技術(shù)路線,華南理工大學(xué)在2011年的時候成功開發(fā)出第一個氧化物TFT驅(qū)動的AMOLED顯示屏。緊接著,我們采用Oxide TFT作為背板,優(yōu)化設(shè)計透明電極,實現(xiàn)透明顯示,透明顯示的透光率達(dá)到30%以上。2013年華南理工大學(xué)又做出國內(nèi)第一個全彩色、柔性AMOLED顯 示屏。同時,華南理工大學(xué)自主研發(fā)的 TFT技術(shù),遷移率可達(dá)40cm2/Vs;功耗低,可以與LTPS TFT相比擬。此外,華南理工大學(xué)在柔性AMOLED顯示屏取得了比較大的進(jìn)展,提高了其使用壽命。

            但是大尺寸OLED一直是個難點,目 前業(yè)界比較關(guān)注印刷顯示技術(shù)的進(jìn)展。彭俊彪說,回顧液晶顯示技術(shù),我們可以看到產(chǎn)線不斷提高,面板的面積越做越大,廠商也隨之?dāng)U大,大尺寸面板成為一大趨 勢。從印刷顯示技術(shù)來看,有沒有可能從TFT到OLED全部用印刷工藝來做呢?這是一個新的發(fā)展趨勢,也是一個新的挑戰(zhàn),需要進(jìn)行一些探索。我們在 OLED方面做過很大的嘗試,早在2005年我們就采用印刷的方法做OLED,華南理工大學(xué)用的一些材料就能實現(xiàn)高清的輸入。

            在OLED 上用噴墨打印的技術(shù),墨水非常關(guān)鍵,因為如果夾層式的結(jié)果有針孔存在,顯示的性能、穩(wěn)定性等就無法保證,所以把薄膜做得均勻的工藝顯得尤為重要。為了解決 這個問題,彭俊彪認(rèn)為,可以從三個方面進(jìn)行努力,第一是從結(jié)構(gòu)上調(diào)整發(fā)光材料,第二是控制好配置,第三是控制好基板界面。目前,我們把像素做成條狀結(jié)構(gòu), 一方面提高了打印效果,另一方面提高了良品率。通過多方面的工藝調(diào)整以及襯底表面處理,華南理工大學(xué)現(xiàn)在可以做到160PPI。但是如果要加上 TFT,AMOLED用噴墨打印的方法做,現(xiàn)在看來起來有些問題。彭俊彪說:“這與墨水的材料有關(guān),我們現(xiàn)在的材料體系主要做的是藍(lán)光,因為藍(lán)光和紅光雖 然蒸鍍材料很多,但能用在噴墨打印上還是一個挑戰(zhàn),所以在材料體系上還需要改進(jìn)。”



          關(guān)鍵詞: Ln-IZO IGZO

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