北京亦莊:集成電路國產(chǎn)設備走向“前臺”
截至今年11月,中芯國際北京廠使用國產(chǎn)設備加工的12英寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破1000萬片次。這標志著國產(chǎn)設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階,也意味著在以精密、嚴苛著稱的集成電路生產(chǎn)領域,國產(chǎn)設備正通過進口替代,穩(wěn)步走向“前臺”。
本文引用地址:http://cafeforensic.com/article/201612/341810.htm12英寸集成電路國產(chǎn)設備是實現(xiàn)我國集成電路芯片自主制造的基礎,設備要求高,系統(tǒng)復雜,相當長時間內(nèi),主要由美日德等設備供應商供應。2008年,國家科技重大專項02專項組織“產(chǎn)學研”聯(lián)合開發(fā),把目標直接定在世界上最先進的40納米和28納米技術節(jié)點,并由行業(yè)的龍頭企業(yè)牽頭。
2015年,中芯國際北京廠新增包括干法刻蝕機、物理氣相沉積設備、單片退火爐設備等在內(nèi)的國產(chǎn)設備主機臺及附屬機臺數(shù)百臺。這些國產(chǎn)設備出色地通過了28納米至90納米技術節(jié)點的大生產(chǎn)線驗證,與進口設備同臺競技。
國產(chǎn)設備進入集成電路生產(chǎn)線難在哪?“以往的探索式研究只需要單點突破,100次嘗試有一次成功就可以宣告成功了。現(xiàn)在要提供大生產(chǎn)技術,必須100次都成功,而且成功的結果還必須完全一樣,發(fā)散一點兒都不行?!敝行颈狈礁笨偨?jīng)理張昕告訴記者,在高風險、高投入的集成電路產(chǎn)業(yè),裝備的設計也要改變在實驗室里閉門造車的習慣,要預先知道生產(chǎn)的具體要求,隨時改進,共同開發(fā)。
值得注意的是,目前中芯國際北京廠使用的國產(chǎn)設備中,有相當一部分產(chǎn)自其所在的北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)。與中芯國際北京廠“比鄰”的北方華創(chuàng),已成功開發(fā)了以刻蝕設備、化學氣相沉積設備、物理氣相沉積設備三大類半導體裝備產(chǎn)品為基礎的20余類產(chǎn)品,成功替代國外廠商同類產(chǎn)品。
“區(qū)域的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局為實現(xiàn)芯片制造設備國產(chǎn)化奠定了堅實基礎,開發(fā)區(qū)已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈?!北本┙?jīng)濟技術開發(fā)區(qū)投資促進局局長王延衛(wèi)告訴記者,目前亦莊集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占北京市的二分之一。
一批代表企業(yè)及研究機構關鍵裝備及材料、先進工藝的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果,為我國集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)自主發(fā)展奠定了堅實基礎,也確立了北京在全國集成電路產(chǎn)業(yè)布局中的領先地位。
未來,亦莊開發(fā)區(qū)將致力于成為全球領先的,先進新型存儲器、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領域的研發(fā)制造中心。同時,以建立上下游價值鏈、整合產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈、打造具有國際競爭力的大企業(yè)為依托,積極推進中國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術創(chuàng)新、模式創(chuàng)新、制度創(chuàng)新,實現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈在京津冀地區(qū)布局集群發(fā)展,成為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心區(qū)與承載地。
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