隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)已經(jīng)進(jìn)入到了“下半場(chǎng)”，臺(tái)積電和三星在7nm正打得火熱，但兩邊手里的“武器”，也就是極紫外光刻(EUV)光刻機(jī)，均是來(lái)自于ASML。

　　曾經(jīng)，一直傳言受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國(guó)只能買(mǎi)到ASML的中低端產(chǎn)品，但ASML后來(lái)正式澄清，其最高端的EUV光刻機(jī)進(jìn)口到中國(guó)大陸完全沒(méi)有問(wèn)題。

　　那么近兩年以來(lái)，大陸有哪些集成電路制造商引進(jìn)了ASML的設(shè)備呢?

　　中芯國(guó)際：1.2億美元的EUV光刻機(jī)

　　去年5月，中芯國(guó)際向ASML訂購(gòu)了一套EUV設(shè)備，據(jù)傳是當(dāng)時(shí)最昂貴和最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工具，價(jià)值高達(dá)1.2億美元，這一設(shè)備預(yù)計(jì)將于2019年年初交付。

　　知情人士表示，1.2億美元的價(jià)格和2019年的交貨時(shí)間可能不準(zhǔn)確，但訂單是真實(shí)的。他還指出，如果價(jià)格是1.2億美元，臺(tái)積電和三星的價(jià)格也不會(huì)低于這個(gè)數(shù)目。也就是說(shuō)，ASML給到中芯國(guó)際的價(jià)格已經(jīng)很便宜了。

　　集微網(wǎng)記者根據(jù)價(jià)格推測(cè)，中芯國(guó)際訂購(gòu)的這臺(tái)EUV光刻機(jī)的型號(hào)應(yīng)該是TwinscanNXE：3400B，這是當(dāng)時(shí)市面上最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)設(shè)備。

　　據(jù)ASML官網(wǎng)顯示，這臺(tái)價(jià)值1.2億美元的天價(jià)設(shè)備，能夠支持精細(xì)到5nm工藝節(jié)點(diǎn)的批量生產(chǎn)，由此也可以見(jiàn)得，14nm不是中芯國(guó)際的最終目標(biāo)，7nm時(shí)代并不會(huì)太遙遠(yuǎn)。

　　在其他數(shù)據(jù)方面，該設(shè)備采用了卡爾蔡司SMT全反射4倍光學(xué)變焦鏡頭組件，最大曝光范圍為26mm×33mm，擁有每小時(shí)155片的300mm尺寸晶圓雕刻能力。

　　要知道，這臺(tái)價(jià)值EUV設(shè)備的價(jià)值大致相當(dāng)于中芯國(guó)際2017年的1.26億美元凈利潤(rùn)，半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)家莫大康曾表示這是為研發(fā)做準(zhǔn)備的大投資，但不能高興的太早，因?yàn)樵O(shè)備出口許可證，ASML說(shuō)了不算，還要聽(tīng)美國(guó)的。

　　不過(guò)，ASML今年還將推出產(chǎn)能更高的新型號(hào)TwinscanNXE:3400C，每小時(shí)晶圓雕刻能力將從155片提升至170片，并換裝了Cymer公司的340W光源。這樣一來(lái)，預(yù)計(jì)3400B運(yùn)抵中芯國(guó)際廠區(qū)的時(shí)候，已經(jīng)不再是市面上最先進(jìn)的EUV設(shè)備了。

　　長(zhǎng)江存儲(chǔ)：NXT1980Di

　　就在中芯國(guó)際下單EUV光刻機(jī)幾天后，長(zhǎng)江存儲(chǔ)購(gòu)買(mǎi)自ASML的光刻機(jī)也運(yùn)抵了武漢天河機(jī)場(chǎng)，陸續(xù)還有多臺(tái)進(jìn)廠。

　　根據(jù)集微網(wǎng)當(dāng)時(shí)的報(bào)道，這臺(tái)光刻機(jī)為ASML的193nm浸潤(rùn)式光刻機(jī),型號(hào)為NXT1980Di，售價(jià)達(dá)7200萬(wàn)美元(約合人民幣4.6億元)，用于10nm級(jí)(14～20nm)的晶圓生產(chǎn)。

　　據(jù)了解，長(zhǎng)江存儲(chǔ)在2016年啟動(dòng)了位于武漢的國(guó)家存儲(chǔ)器基地的建設(shè)，總投資高達(dá)240億美元，按計(jì)劃，2020年月產(chǎn)能將達(dá)到30萬(wàn)片。

　　華虹六廠：喜提14nm關(guān)鍵設(shè)備

　　去年5月21日上午，華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營(yíng)運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目(“華虹六廠”)首臺(tái)工藝設(shè)備光刻機(jī)正式進(jìn)廠。

　　這臺(tái)ASML的光刻機(jī)型號(hào)與長(zhǎng)江存儲(chǔ)的193nm雙級(jí)沉浸式光刻機(jī)一樣，都是NXT1980Di，這兩臺(tái)也是當(dāng)時(shí)大陸裝備的最先進(jìn)的沉浸式光刻設(shè)備。

　　華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項(xiàng)目，總投資387億元人民幣，將建成月產(chǎn)能4萬(wàn)片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn)，工藝覆蓋28-14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。

　　預(yù)計(jì)該生產(chǎn)線(xiàn)將于2022年底建成達(dá)產(chǎn)，未來(lái)主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點(diǎn)服務(wù)國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造，并滿(mǎn)足部分事關(guān)國(guó)家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。

　　SK海力士(無(wú)錫)：如期而至的NXT:2000i

　　去年8月，ASML曾表示已經(jīng)開(kāi)始出貨新設(shè)備TwinscanNXT:2000iDUV(NXT:2000i雙工件臺(tái)深紫外光刻機(jī))，可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)，并表示不久后就將進(jìn)入大陸。

　　ASML果然沒(méi)有食言，去年12月19日晚間，中國(guó)首臺(tái)ASMLNXT:2000i正式搬入SK海力士位于無(wú)錫的工廠。

　　NXT:2000i將是NXE:3400BEUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充，臺(tái)積電的第一代7nm全部采用了DUV工藝，在第二代7nm工藝(CLNFF+/N7+)，臺(tái)積電首次應(yīng)用了EUV，不過(guò)僅限四個(gè)非關(guān)鍵層，其他關(guān)鍵層仍然使用的是DUV工藝。

　　作為當(dāng)前ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品，NXT:2000i達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)精度。

　　無(wú)錫是SK海力士在中國(guó)的DRAM內(nèi)存芯片生產(chǎn)基地，目前每月晶圓的產(chǎn)量約為14萬(wàn)片。另外，SK海力士還成立了SKHynixSystemIC公司，開(kāi)始進(jìn)軍晶圓代工市場(chǎng)，同時(shí)增加1000萬(wàn)美元投資，在無(wú)錫擴(kuò)大了模擬IC芯片業(yè)務(wù)。

　　粵芯：神秘的運(yùn)輸車(chē)

　　今年3月15日，廣州粵芯半導(dǎo)體在廣州舉行了主設(shè)備進(jìn)場(chǎng)儀式。日前，曾有數(shù)臺(tái)載有半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)輸車(chē)進(jìn)入了粵芯的廠區(qū)，其中就有一臺(tái)格外引人注目，因?yàn)槠滠?chē)廂外部印有ASML商標(biāo)。

　　據(jù)集微網(wǎng)記者了解，粵芯半導(dǎo)體項(xiàng)目是國(guó)內(nèi)第一座以虛擬IDM(irtuallDM)為營(yíng)運(yùn)策略的12英寸芯片廠，也是廣州第一條12英寸芯片生產(chǎn)線(xiàn)，一期目標(biāo)產(chǎn)能為4萬(wàn)片每月，投資高達(dá)100億元。

　　粵芯半導(dǎo)體目前的工藝覆蓋90nm到180nm，產(chǎn)品主要包括微處理器、電源管理芯片、模擬芯片、功率分立器件等。二期工程建成后，能滿(mǎn)足物聯(lián)網(wǎng)、汽車(chē)電子、人工智能、5G等創(chuàng)新應(yīng)用的模擬芯片需求，屆時(shí)工藝覆蓋將為40nm到65nm。

　　單以工藝節(jié)點(diǎn)的覆蓋來(lái)推測(cè)的話(huà)，這臺(tái)ASML的設(shè)備，有可能是TwinscanNXT:1965Ci，該設(shè)備能滿(mǎn)足20nm級(jí)別的光刻工藝需求。

　　鞋是別人的，路還要靠自己走

　　ASML去年的凈銷(xiāo)售額為109億歐元，凈收入為26億歐元。僅第4季度就收到了5個(gè)EUV設(shè)備訂單。按計(jì)劃，今年更將出貨30臺(tái)EUV設(shè)備，其中包括DRAM客戶(hù)的首批批量生產(chǎn)系統(tǒng)。

　　中國(guó)大陸的半導(dǎo)體制造目前還落后于世界一流水平兩至三代，雖然如今有ASML先進(jìn)的硬件設(shè)施鼎力相助，但還需要自身工藝研發(fā)方面取得突破。

　　如今，就連臺(tái)積電和三星這樣的大廠都要看ASML的臉色行事，沒(méi)有ASML提供設(shè)備，他們的先進(jìn)工藝研發(fā)也會(huì)受阻。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在追趕世界第一梯隊(duì)的路上，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化具有重要戰(zhàn)略意義。

　　雖然去年出現(xiàn)過(guò)一臺(tái)號(hào)稱(chēng)能做10nm的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，但后來(lái)澄清了這臺(tái)只是原理機(jī)，不專(zhuān)業(yè)的報(bào)道一度引得國(guó)人拍手叫好。其實(shí)，國(guó)內(nèi)也有像中微半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)這樣有實(shí)力的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，雖然與ASML有一定實(shí)力差距，但要想不受制于人，只有自主研發(fā)一條路。