3月24日上午10:18，在嚴(yán)格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下，格科微順利舉辦ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)搬入儀式。格科半導(dǎo)體SVP李朝勇、各部門總監(jiān)、光刻團(tuán)隊(duì)及廠務(wù)團(tuán)隊(duì)出席儀式，共同見證了公司這一里程碑式的重要時刻。

目前，格科微有限公司“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”推進(jìn)迅速。廠房和潔凈車間建設(shè)已經(jīng)基本完成，并于2022年2月16日開始主設(shè)備的搬入安裝。在3月24日，格科半導(dǎo)體再次迎來了建廠重要標(biāo)志性時刻，整套生產(chǎn)線中的最關(guān)鍵設(shè)備——ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功搬入。

ArF光刻機(jī)的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”建設(shè)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進(jìn)制程，格科微將進(jìn)一步加快先進(jìn)CIS工藝和高階專利像素的研發(fā)速度，并在自有工廠實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)驗(yàn)證，從而極大縮短高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應(yīng)市場的周期。

格科微表示，將堅(jiān)持從Fabless向Fablite轉(zhuǎn)變的經(jīng)營路線，通過自有工廠為特色工藝的快速研發(fā)提供強(qiáng)有力的支持，以不斷創(chuàng)新的電路設(shè)計(jì)、更短的研發(fā)周期、更高效的運(yùn)營體系為客戶提供全球一流的圖像傳感器產(chǎn)品，讓世界看到中國的創(chuàng)新。

資料顯示，2020年3月，格科微就與上海自貿(mào)區(qū)臨港新片區(qū)管委會簽訂合作協(xié)議，擬在新片區(qū)投資建設(shè)“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”。該項(xiàng)目總投資預(yù)計(jì)達(dá)22億美元，已于2020年中啟動。2021年8月16日，格科微12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目正式封頂，項(xiàng)目一期計(jì)劃于2022年投產(chǎn)使用，滿產(chǎn)后年產(chǎn)能可達(dá)72萬片。