測試步驟：

　　靜電放電測試時要求一次至少使用三個樣本，每個樣本規(guī)定的靜態(tài)和動態(tài)參數(shù)都要事先進行測試并記錄。

　　① 在試驗器插座上（A，B端）分別插上評價負載（短路線和R2）；電流探針置于B端處；按表4設(shè)置試驗器充電電壓；

　?、?分別引發(fā)試驗器脈沖，觀測電壓波形，要求上升時間、峰值電流和振鈴波形滿足要求。采用拍照或數(shù)字貯存方式記錄這些波形。

　?、?在試驗器插座上換上被測器件（DUT）進行放電試驗，通常按表4從最低電壓檔開始，每個被測器件應(yīng)采用一個正向和一個反向脈沖試驗，允許脈沖之間至少間隔 0.3s時間。

　?、?在室溫下測試樣本的所有靜態(tài)和動態(tài)參數(shù)。如果要求多個溫度，首先從最低溫度開始。

　?、?如果所有三個樣本都通過規(guī)定數(shù)據(jù)的參數(shù)測試，則再用表4中更高一擋電壓試驗。記錄通過的最高電壓檔。

　?、?如果有一個或多個樣本失效，重新用三個新的樣本，以降低一擋表4中電壓進行試驗。如果繼續(xù)有失效，再降低一擋，如果還有失效，則停止試驗。

　?、?按表4進行分級。

　　2） 機器模式的靜電放電敏感性測試

　　圖5　機器模式的靜電放電敏感性測試原理圖

　?、?雙極性脈沖發(fā)生器應(yīng)該設(shè)計為避免重復(fù)充電和產(chǎn)生雙脈沖。不能靠交換A、B端點來獲得雙極性性能。

　?、?開關(guān)SW1須在脈沖通過后關(guān)閉10ms～100ms，以確保被試插座不在充電狀態(tài)，它也應(yīng)該先于下個脈沖到來前至少開啟10ms。電阻R1和開關(guān)串聯(lián)以確 保器件有一個慢放電，這樣就避免了一個帶電器件模式放電的可能性。

　?、?圖5中評價電阻負載1為：一種截面為0.83mm2～0.21mm2鍍錫銅短路線，長度不大于75mm。負載2為：500Ω，±1%，1000V。

　?、?電流傳感器要求

　　——最小帶寬350MHz；

　　——峰值脈沖電流15A；

　　——上升時間小于1ns；