藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝研究 作者： 時間：2011-08-28 來源：網(wǎng)絡(luò) 加入技術(shù)交流群 掃碼加入和技術(shù)大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> 速和壓力只能使其在同一個數(shù)量級內(nèi)變化。通過測量經(jīng)過不同拋光時間后表面粗糙度的值，發(fā)現(xiàn)拋光時表面粗糙度下降的速率逐漸變慢，最后達到一個穩(wěn)定值，其大小取決于所選擇的工藝條件。上述結(jié)論為藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝的進一步優(yōu)化提供了依據(jù)。 上一頁 1 2 下一頁
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