使用白光干涉儀過程中的疑問
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19、問：該設(shè)備光源的中心波長(zhǎng)是多少？
答：該設(shè)備 光源為白光，也是可見光，其波長(zhǎng)范圍是可見光的波長(zhǎng)范圍在0.77～0.39微米之間。
20、問：工作臺(tái)部分可傾斜一定角度有何作用？
答：只是提供初步的水平調(diào)整用，可是只有SIS-1200Plus 有此功能，自動(dòng)機(jī)臺(tái)是沒有的。
21、問：橫向分辨率和縱向分辨率為何有差別？
答：縱向分辨率是固定的而且很高，橫向分辨率在不同倍率下是不同的，他們檢測(cè)原理也是不同的。
22、問：該設(shè)備有幾種軟件界面？
答：有兩款軟件界面，一款測(cè)量軟件，一款為分析軟件
23、問：該設(shè)備手動(dòng)和自動(dòng)如何區(qū)分？
答：Stage不同，控制程序可以設(shè)定planning，自動(dòng)判定等等，看如何運(yùn)用。
24、問：測(cè)量產(chǎn)品時(shí)機(jī)臺(tái)因氣浮式隔離，可能會(huì)晃動(dòng)，是否會(huì)對(duì)測(cè)量產(chǎn)生影響？
答：隔離器的作用就是防止震動(dòng)，因該設(shè)備為納米級(jí)的設(shè)備，所以外界輕微的震動(dòng)都會(huì)對(duì)測(cè)量造成影響。在使用過程中呢，如果沒有通氣，您會(huì)明顯看到干涉條紋的晃動(dòng)，但是正因有此氣浮隔離器的存在，所以當(dāng)外界存在震動(dòng)時(shí)，花崗巖平臺(tái)是穩(wěn)定的，當(dāng)然如果你刻意的推動(dòng)花崗巖工作臺(tái)時(shí)，肯定對(duì)測(cè)量有影響了。
25、問：變換鏡頭倍率是否需要重新校正，在不同倍率其重復(fù)性是否相同？
答：變換倍率后不需要重新校正(使用之前有校正過，傾斜工作平臺(tái)，粗調(diào)精調(diào)等部件沒有被動(dòng)過，一般在變換倍率后不需要重新校正。
26、問：掃描方向?qū)y(cè)量有無影響，是否固定為從上往下或從下往上？
答：一般都是從上往下掃描。
27、問：PZT是什么，其作用是什么？
答：PZT是壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，產(chǎn)生相位移，使得干涉條紋間的相位變化(360度)可計(jì)算得每一度相位變化處的相對(duì)高度，大幅提升量測(cè)分辨率。
28、問：白光干涉儀是否需要每次開機(jī)校正？
答：不需要每次開機(jī)校正，校正OK后，只要沒有經(jīng)過搬動(dòng)或工作臺(tái)做新的調(diào)整，一般都不重新校正，這也是該設(shè)備的一個(gè)亮點(diǎn)。
29、問：改產(chǎn)品縱向掃描范圍是150微米，如果掃描更大行程尺寸，是否可以分段掃描在疊加在一起？
答：是不可以的，如果產(chǎn)品尺寸在縱向超過150微米，是不能測(cè)量到的。
30、問：有一個(gè)產(chǎn)品有100mm*50mm，用該設(shè)備只能掃描很小區(qū)域，如果掃描整個(gè)平面的粗糙度，是否可以？
答：因?yàn)榇祟愒O(shè)備是納米級(jí)設(shè)備，主要測(cè)量產(chǎn)品的微觀尺寸及表面等特征，所以測(cè)量的一般都是很小的點(diǎn)區(qū)域，但是對(duì)于此設(shè)備的概念及一般客戶的需求，這樣大小區(qū)域各種特征的測(cè)試已經(jīng)足夠，至于像您提到的100mm*50mm大小的整個(gè)平面的平面度是無法測(cè)量的，不過可以多測(cè)量一些點(diǎn)，做為參考。
31、問：線上設(shè)備主要用來測(cè)什么呢？
答：線上設(shè)備主要也是檢測(cè)彩色濾光片上的 photo spacer的高度，還有就是彩色濾光片與TFT基板貼合對(duì)位的檢測(cè)。
32、問：該設(shè)備可否測(cè)涂層厚度，涂層如果有多層，是否必須進(jìn)行破壞，基準(zhǔn)面怎么選??？
答：可以測(cè)量涂層厚度，如果有多層的話，必須在不同層間形成臺(tái)階，方可檢測(cè)，如果不同層間為透光材質(zhì)，理論上也可試測(cè)。
33、問：該設(shè)備工作臺(tái)可以承重是多少？
答 ：一般5公斤的承重是沒問題的。
34、問：該設(shè)備一般多產(chǎn)品的反光率要求是多少？
答：對(duì)產(chǎn)品的反光率要求一般要大于4%.
35、問：該設(shè)備在Z軸方向上的掃描范圍只有150μm，但我司產(chǎn)品有300μm，請(qǐng)問貴司產(chǎn)品可以測(cè)嗎？
答： 如果有要求這樣的掃描范圍， 我們可根據(jù)您的要求來訂做，因?yàn)閷?duì)于這樣的設(shè)備，掃描范圍超過100μm已經(jīng)很大，而且以我們以往客戶使用情況來看，超過150μm 很少會(huì)使用到。
36、問：該設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度是多少？
答 ：Z軸方向上的運(yùn)動(dòng)精度是2個(gè)μm，X、Y軸是5μm .
37、問：請(qǐng)問該設(shè)備掃描面積與視野大小是相同的嗎？
答：掃描面積與視野的概念在此設(shè)備上是等同的，可以為客戶截圖進(jìn)行說明。(end)
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