MEMS，算是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中比較特殊的一個門類。相比于CMOS工藝，MEMS工藝的集成度不僅是數(shù)量、規(guī)模上的，還具有另一個層面的意義——集成更多的器件類型和結(jié)構(gòu)功能。它是學(xué)科交叉的產(chǎn)物。MEMS和CMOS不同之處使得MEMS器件的大小差異可以很大，且沒有統(tǒng)一的工藝標(biāo)準(zhǔn)化，因此MEMS工藝可以達(dá)到而且需要達(dá)到很高的定制化需求。

圖1  IMT公司全球銷售副總裁Paul Pickering先生

　　IMT（Innovative Micro Technology, Inc.），是大部分國內(nèi)半導(dǎo)體從業(yè)人員比較陌生是名字。IMT是一家以提供MEMS工藝研發(fā)、MEMS器件批量生產(chǎn)等服務(wù)為主的公司，目前是美國最大的純MEMS代工廠。IMT現(xiàn)在大約有110名員工，其中15%是PhD。要知道，一家公司要生產(chǎn)MEMS器件，必須要有電子、材料、機(jī)械、物理等多種不同學(xué)科的專門人才和跨領(lǐng)域人才。因此，IMT雖然員工數(shù)量并不多，但作為美國最大的純MEMS代工廠，IMT公司的人才構(gòu)成應(yīng)當(dāng)是非常優(yōu)質(zhì)的。

　　雖然MEMS工藝是非標(biāo)準(zhǔn)化的，但現(xiàn)如今MEMS器件的應(yīng)用卻越來越廣，涵蓋了汽車、生物醫(yī)藥、消費(fèi)電子、工業(yè)、國防、光學(xué)等諸多領(lǐng)域。對IMT來說，數(shù)量最大是生物醫(yī)藥相關(guān)的，最大的營收則來自光學(xué)領(lǐng)域，約占總營收的1/3。也正是由于MEMS工藝的非標(biāo)準(zhǔn)性，IMT公司全球銷售副總裁Paul Pickering先生介紹說，IMT可以根據(jù)客戶的不同需求要來不斷修改、調(diào)整工藝參數(shù)，不僅可以提供批量生產(chǎn)服務(wù)，還能為客戶提供快速原型生產(chǎn)服務(wù)，幫助客戶更快地驗證自己的產(chǎn)品。目前，IMT已有6英寸生產(chǎn)線，正在建8英寸生產(chǎn)線，明年開始運(yùn)作。

圖2  IMT所生產(chǎn)的6英寸晶圓

　　值得注意的是，即便IMT已經(jīng)是美國最大的純MEMS代工廠，所擁有的技術(shù)也不容小看，但I(xiàn)MT毫無疑問仍舊是MEMS領(lǐng)域的一個小公司，其中最重要的原因仍舊是MEMS工藝的非標(biāo)準(zhǔn)化。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，做MEMS器件設(shè)計的有不少是大型半導(dǎo)體公司，這些大型半導(dǎo)體公司大都擁有自己專門的MEMS工藝和生產(chǎn)線，因此，相比于CMOS工藝，MEMS的代工比例相對要小得多。

　　而最近，IMT這家在MEMS代工領(lǐng)域市場份額不算小的規(guī)模不算大的美國公司宣布與中國物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心（CIT-China）達(dá)成合作意向，以完善中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈——當(dāng)然，從IMT的立場來說，是拓展在中國的業(yè)務(wù)。有人或許會對IMT此時在中國市場擴(kuò)張的策略產(chǎn)生質(zhì)疑：在中國政府大力扶持本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，逐步縮窄外資企業(yè)生存空間的當(dāng)下，IMT的方向是否是正確的？不幸的是，IMT的方向目前是正確的。為何要用“不幸”這樣的字眼？“不幸”說的不是IMT，而是本土MEMS產(chǎn)業(yè)。目前有一個令人嘆息的現(xiàn)狀——本土MEMS產(chǎn)業(yè)無論是規(guī)模、設(shè)計能力還是制造技術(shù)，都與國際先進(jìn)水平有著極大的差距，MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展水平要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的其它領(lǐng)域。

　　我認(rèn)為，IMT拓展在中國的業(yè)務(wù)，對現(xiàn)階段的中國MEMS產(chǎn)業(yè)來說是有不小的促進(jìn)作用的。IMT此次與CIT-China的合作主要是以MEMS開發(fā)公共平臺為依托，一方面，IMT的進(jìn)入能為國內(nèi)MEMS設(shè)計廠提供更多代工選擇，讓MEMS設(shè)計廠可以有更多檢驗設(shè)計的機(jī)會，另一方面，IMT的進(jìn)入也給本土MEMS代工廠帶來了競爭，迫使本土MEMS代工廠不斷創(chuàng)新發(fā)展。

圖3  IMT所生產(chǎn)的部分MEMS器件