0 引言

　　硅電容壓力傳感器是利用硅基材料， 應(yīng)用電容原理， 采用MEMS 工藝制作的一類新型壓力傳感器。因其具有穩(wěn)定性好， 非線性和可靠性優(yōu)越的性能被廣泛用于工業(yè)控制和測量領(lǐng)域。但是差動(dòng)電容式壓力傳感器的輸出差動(dòng)電容信號通常都非常微弱， 因此， 如何將微小電容變化量檢測及轉(zhuǎn)換為后續(xù)電路容易處理的信號至關(guān)重要。目前， 比較常用的檢測調(diào)理電路如諧振法、振蕩法、開關(guān)電容法、AC 電橋法、運(yùn)算放大器檢測法等。這些調(diào)理電路都是采用分離元件設(shè)計(jì)而成的， 而文中將采用一款電容專用檢測轉(zhuǎn)換芯片CAV424作為調(diào)理電路的核心部件。實(shí)驗(yàn)表明該電路穩(wěn)定性高， 功耗低， 且非線性度在02%~ 0 1%, 非常適合使用干電池供電的儀表儀器。

　　1 CAV424工作原理

　　1. 1 測量原理

　　CAV424是專門用于電容檢測轉(zhuǎn)換的集成芯片， 其工作原理圖及外圍連接圖如圖1所示。

　　圖1 CAV424工作原理圖及外圍連接圖

　　由圖1可知， 通過電容C osc調(diào)整參考振蕩器的頻率來驅(qū)動(dòng)2個(gè)構(gòu)造對稱的積分器并使它們在時(shí)間和相位上同步。2 個(gè)被控制的積分器的振幅分別由電容C X1和C X2來決定， 這里C X1作參考電容， C X2作為測量電容。由于積分器具有很高的共模抑制比和分辨率， 所以2個(gè)振幅的差值所提供的信號就反映出2個(gè)電容C X1和C X2的差值。這個(gè)電壓差值通過后面的有源濾波器濾波為直流電源信號(整流效應(yīng))， 然后送到可調(diào)的放大器， 調(diào)整RL 1和RL 2的值， 可得到所需要的輸出電壓值。如果2 個(gè)電容C X1和C X2值相同， 那么經(jīng)過整流和濾波得到的一個(gè)直流電壓信號就是零。如果測量C X2電容改變了△C X2, 那么得到的輸出電壓與之是成正比的。如果2個(gè)電容C X1和C X2值不相同， 那么當(dāng)C X2 = 0時(shí)， 在輸出端得到的是一個(gè)偏置值， 它始終是疊加在直流電壓信號上的。

　　1.2 測量輸出

　　根據(jù)CAV424工作原理及外圍電路連接圖， 可得測量輸出表達(dá)式：

　　這里取ICX1= ICX2= IC, 所以輸出表達(dá)式( 1)可簡化為：

　　式中：

　　VM 為參考電壓2 5 V; Ic 為2個(gè)積分器的充電電流， 這里取常數(shù)5 A; fOSC為參考振蕩器頻率范圍， 其由被測電容的最小值決定。

　　2 硬件電路及軟件設(shè)計(jì)

　　2. 1 系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　該系統(tǒng)主要以CAV424檢測芯片和微處理器控制模塊為核心， 另外還有輸出顯示模塊以及電源模塊等。系統(tǒng)框圖如圖2所示。

　　圖2 系統(tǒng)框圖。

　　CAV424檢測芯片在系統(tǒng)中主要任務(wù)是將傳感器的差動(dòng)電容信號轉(zhuǎn)換為可測的電壓信號。差動(dòng)式壓力傳感器的低壓端連接C X1參考電容端， 高壓端連接C X2被測電容端， 這樣連接可以保證輸出電壓始終為正。

　　2. 2 電容檢測電路設(shè)計(jì)

　　根據(jù)硅電容壓力傳感器核心器件可看成由中心可動(dòng)電極和兩邊的固定電極組成的2個(gè)可變電容， 其敏感電容可以簡單地認(rèn)為是平板電容， 而平板電容公式為：

　　并且將C X1參連接到差壓的高壓端， C X2連接到低壓端。由此可得C X1參和C X2表達(dá)式：

　　因此可得式( 2) 最終表達(dá)式：

　　式中： ε為兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù); S 為兩極板相對有效面積; δ為兩極板的間隙。

　　因此， 在小位移情況下， 外加壓力和△δ成比例關(guān)系， 可見電容的倒數(shù)差與輸入壓力成線性關(guān)系。所以文中將CAV424的CX 1作為參考電容端連接到差壓的高壓端是合適的， 這樣的線性關(guān)系減少了系統(tǒng)誤差的影響， 提高了系統(tǒng)的可靠性和準(zhǔn)確性。CAV424檢測轉(zhuǎn)換原理如圖3所示。

　　圖3 CAV424檢測原理圖

　　2.3 控制及顯示電路設(shè)計(jì)

　　控制顯示電路以單片機(jī)為核心， 選用PIC16F877單片機(jī)為控制器， 其內(nèi)部含有10位高精度A /D轉(zhuǎn)化器， 能夠直接處理模擬電壓， 調(diào)整CAV424的GLP , 可以使輸出電壓范圍在2 5~ 35V 之間， 滿足單片處理信號的要求。顯示器件選用LCM 046液晶模塊， 其功耗低， 工作電流只有μA級， 并且其與處理器連接簡單。連接圖如圖4所示。

　　圖4 液晶連接圖