先進(jìn)電氣測(cè)試儀器與系統(tǒng)的世界級(jí)領(lǐng)導(dǎo)者吉時(shí)利儀器公司，日前發(fā)布測(cè)試界第一個(gè)利用一套線纜即可處理I-V、C-V和脈沖I-V信號(hào)的互連解決方案(正申請(qǐng)專利)。本款最新布線套件基于專利型設(shè)計(jì)，能大大加快并簡(jiǎn)化從任意先進(jìn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探測(cè)器進(jìn)行直流電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和脈沖I-V測(cè)試互連的過程。互連線的設(shè)計(jì)與吉時(shí)利4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)以及其他一些用于特征分析的測(cè)試儀器兼容。

　　該高性能三同軸線纜套件的設(shè)計(jì)非常適合需要在不同測(cè)量類型之間頻繁切換的特征分析應(yīng)用。采用這些新型的線纜套件在不同測(cè)量類型之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)無需重新布線，且能消除由于連線誤差而導(dǎo)致的測(cè)量誤差。其包括兩種線纜套件——一種適用于Cascade Microtech探測(cè)器，另外一種適用于SUSS MicroTec探測(cè)器。

　　對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行電氣特征分析并掌握其生產(chǎn)過程中所用工藝，需要進(jìn)行各種測(cè)量操作包括直流I-V、C-V和脈沖式I-V測(cè)量。將不同類型的測(cè)量集成在一個(gè)特征分析系統(tǒng)中最大挑戰(zhàn)是，每種測(cè)量都有完全不同的布線需求。例如，進(jìn)行低電流I-V測(cè)量需要加保護(hù)層，因此需要三軸線;C-V測(cè)量通常采用四條同軸線纜并將外殼連接在一起以控制信號(hào)遇到的特征阻抗;脈沖測(cè)量所需帶寬在三種測(cè)量類型中最高，因此布線的特征阻抗必須與源阻抗相匹配，以防止DUT的反射信號(hào)在源端發(fā)生反射。

　　吉時(shí)利新推出的布線套件在設(shè)計(jì)時(shí)考慮到以上不同需求，用戶進(jìn)行任何類型的測(cè)量都無需改動(dòng)探針控制器的布線;只需簡(jiǎn)單把線纜從一組儀器互連轉(zhuǎn)換到另一組，大大簡(jiǎn)化了I-V測(cè)量、C-V測(cè)量和脈沖I-V測(cè)試之間的轉(zhuǎn)換，從而簡(jiǎn)化器件特征分析過程。此外，在探針接觸圓片時(shí)可修改測(cè)試配置以減少pad損傷，并對(duì)所有三類測(cè)量都能保持相同接觸阻抗。

　　不斷增強(qiáng)的系統(tǒng)功能確保產(chǎn)能不斷增長(zhǎng)

　　吉時(shí)利4200-SCS以一套緊密集成的特征分析解決方案取代了多種分離的電氣測(cè)試工具，是可靠性實(shí)驗(yàn)室、材料與器件研究實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行半導(dǎo)體技術(shù)研究、工藝研發(fā)和材料研究的理想選擇，能滿足所有需要臺(tái)式直流或脈沖測(cè)試儀的實(shí)驗(yàn)室的需要。自推出4200-SCS系統(tǒng)以來，吉時(shí)利不斷增強(qiáng)其硬件和軟件功能。吉時(shí)利對(duì)系統(tǒng)不斷更新的承諾確保用戶能夠獲得高性價(jià)比的升級(jí)途徑，用戶無需因?yàn)樵袃x器過時(shí)而購買新的參數(shù)分析儀。系統(tǒng)通過高性價(jià)比的升級(jí)能滿足業(yè)界不斷增長(zhǎng)的測(cè)試需求，相比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的測(cè)試方案，用戶對(duì)4200-SCS的固定資產(chǎn)投資有效期更長(zhǎng)。

　　吉時(shí)利儀器公司作為半導(dǎo)體器件特征分析和參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的領(lǐng)先供應(yīng)商，為全球用戶提供電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和脈沖I-V測(cè)量與分析所需的各種靈活解決方案。產(chǎn)品涵蓋從臺(tái)式儀器到成套系統(tǒng)，應(yīng)用于材料分析、器件特征分析、圓片級(jí)可靠性分析、工藝控制監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。吉時(shí)利通過其龐大的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)中心網(wǎng)絡(luò)以及具有半導(dǎo)體專業(yè)技術(shù)知識(shí)的應(yīng)用工程師，為全球半導(dǎo)體用戶提供服務(wù)。