夏日的早晨，微風(fēng)拂面，鳥兒輕鳴。北京中科信電子裝備有限公司(簡(jiǎn)稱中科信)里一派繁忙景象，來(lái)來(lái)往往的員工或趕往廠房或直奔辦公大樓，為“十一五”國(guó)家科技重大專項(xiàng)———90nm-65nm大角度離子注入機(jī)樣機(jī)系統(tǒng)集成緊張而有序地忙碌著。

　　沖破封鎖

　　“工欲善其事，必先利其器”，2000多年前孔子話語(yǔ)中蘊(yùn)含的深意同樣適用于當(dāng)今中國(guó)的半導(dǎo)體業(yè)：沒(méi)有先進(jìn)的電子制造設(shè)備，就不可能有自主先進(jìn)的芯片產(chǎn)品;沒(méi)有先進(jìn)的設(shè)備做支撐，中國(guó)的半導(dǎo)體業(yè)發(fā)展再快，也只是建立在沙漠上的高樓。

　　作為IC制造前道工藝設(shè)備，離子注入機(jī)技術(shù)復(fù)雜、涉及面廣，融光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)、材料、熱學(xué)、力學(xué)等各種專業(yè)技術(shù)為一體。國(guó)際上，離子注入技術(shù)主要集中在美國(guó)，著名的離子注入裝備生產(chǎn)商有美國(guó)Axcelis公司、Varian公司等。他們擁有最先進(jìn)的離子注入機(jī)技術(shù)，研制的各種類型的離子注入機(jī)占據(jù)了大部分國(guó)際市場(chǎng)。

　　以美國(guó)為首的西方發(fā)達(dá)國(guó)家始終把IC設(shè)備列為對(duì)我國(guó)實(shí)行嚴(yán)格限制的技術(shù)領(lǐng)域之一，實(shí)行嚴(yán)密封鎖且禁止向我國(guó)出口先進(jìn)的離子注入設(shè)備，不讓先進(jìn)的設(shè)備和技術(shù)為中國(guó)人所掌握，以永遠(yuǎn)維持自己的經(jīng)濟(jì)和軍事霸權(quán)地位。

　　中科信作為國(guó)內(nèi)唯一從事離子注入機(jī)與快速退火成套裝備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的高科技企業(yè)，責(zé)任重大。企業(yè)必須從戰(zhàn)略發(fā)展的高度出發(fā)，立足于自主創(chuàng)新，整體提升以離子注入機(jī)為代表的電子專用裝備制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力，建立起擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的研發(fā)技術(shù)平臺(tái)，充分掌握有關(guān)離子摻雜處理工藝和整機(jī)裝備系統(tǒng)集成的先進(jìn)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)設(shè)備的跨越式發(fā)展。

　　“十五”期間，中科信承擔(dān)了國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)集成電路制造裝備重大專項(xiàng)———“100nm大角度離子注入機(jī)”項(xiàng)目，在不到3年的時(shí)間里，他們成功建立了國(guó)內(nèi)一流的離子注入機(jī)技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)和技術(shù)服務(wù)體系，完全突破大角度離子注入機(jī)的5大系統(tǒng)、6大關(guān)鍵技術(shù)，有效建立了以專利為核心的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、能夠滿足100nm集成電路工藝要求的8英寸大角度離子注入機(jī)商品機(jī)，并實(shí)現(xiàn)出口。

　　初步具備了8英寸國(guó)產(chǎn)大角度離子注入機(jī)批量供貨的能力，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)集成電路專用裝備制造水平由原來(lái)的6英寸500nm到8英寸100nm的技術(shù)水平的五級(jí)連跳，為我國(guó)離子注入機(jī)裝備進(jìn)一步發(fā)展和實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

　　項(xiàng)目在圓滿實(shí)施后，先后榮獲“第一屆中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品”、“信息產(chǎn)業(yè)部2006年度信息產(chǎn)業(yè)重大技術(shù)發(fā)明”、“2007年度北京市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”、“2007年度中國(guó)電子科技集團(tuán)科技進(jìn)步特等獎(jiǎng)”、“2007年度中國(guó)電子學(xué)會(huì)科技一等獎(jiǎng)”等多項(xiàng)殊榮，并成功入選“北京市首批自主創(chuàng)新產(chǎn)品”、“國(guó)家首批自主創(chuàng)新產(chǎn)品”目錄。

　　再攀高峰

　　科技之路，永無(wú)止境。

　　我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)律是一代裝備、一代工藝、一代器件，裝備水平?jīng)Q定了產(chǎn)品技術(shù)水準(zhǔn)。中科信人深知肩負(fù)的重?fù)?dān)和責(zé)任，90nm、65nm乃至45nm的科技難題如一座座的技術(shù)高峰，矗立在中科信人面前。他們從國(guó)家戰(zhàn)略需要出發(fā)，再次請(qǐng)纓承擔(dān)“十一五”國(guó)家科技重大專項(xiàng)任務(wù)。

　　通過(guò)國(guó)家專項(xiàng)組的權(quán)威專家的多次論證和評(píng)審，這支團(tuán)隊(duì)整合了全球離子注入技術(shù)的優(yōu)勢(shì)資源，出色完成了項(xiàng)目實(shí)施方案的立項(xiàng)論證。在國(guó)家有關(guān)部委的大力支持下，率先開展了12英寸90nm-65nm大角度離子注入機(jī)的研發(fā)工作。2007年，經(jīng)過(guò)項(xiàng)目技術(shù)組專家的多次方案討論，他們最終確定了90nm-65nm大角度離子注入機(jī)整機(jī)攻關(guān)的總體技術(shù)路線和實(shí)施方案，確定了α機(jī)、β機(jī)以及商品機(jī)等3代機(jī)型研發(fā)的技術(shù)路線，確定了整機(jī)功能劃分和模塊構(gòu)成，完成了5大系統(tǒng)、82個(gè)子系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。