surfmonitor 文章 進(jìn)入surfmonitor技術(shù)社區(qū)
KLA-Tencor發(fā)布全新SURFmonitor系統(tǒng)
- KLA-Tencor正式發(fā)布最新 SURFmonitor 系統(tǒng)，該模塊擴展了業(yè)界領(lǐng)先的 Surfscan SP2 無圖形表面檢測系統(tǒng)，超越了傳統(tǒng)的缺陷檢測范圍，具備監(jiān)控工藝變化和偏移的能力。SURFmonitor 系統(tǒng)專門用于測量裸晶片或薄膜表面形態(tài)變化，而這些變化與多種工藝參數(shù)如表面粗糙度、微粒尺寸和溫度等均有關(guān)聯(lián)。該系統(tǒng)可在收集缺陷信息的同時，在不到一分鐘時間內(nèi)生成具備亞埃級重復(fù)性的詳細(xì)全晶片參數(shù)圖，使代工廠能夠同時監(jiān)控工藝變化和缺陷情況。S
- 關(guān)鍵字： 嵌入式系統(tǒng) 單片機 KLA-Tencor SURFmonitor 嵌入式
| 共1條 1/1 1 |
surfmonitor介紹
您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條surfmonitor!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對surfmonitor的理解，并與今后在此搜索surfmonitor的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對surfmonitor的理解，并與今后在此搜索surfmonitor的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473