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          中芯國際 CEO:ASML CTO告訴我光刻機(jī)“差距大概20年”

          發(fā)布人:旺材芯片 時間:2021-04-27 來源:工程師 發(fā)布文章
          4月24日,據(jù)第一財經(jīng),在中國工程院主辦的“中國工程院信息與電子工程前沿論壇”上,浙江大學(xué)吳漢明院士、中芯國際聯(lián)席CEO趙海軍等多位半導(dǎo)體界人士對光刻機(jī)、產(chǎn)能等關(guān)鍵問題展開討論。



          在演講中,吳漢明院士指出,中國集成電路產(chǎn)業(yè)正在面臨兩大壁壘:政策壁壘和產(chǎn)業(yè)性壁壘。
          前者包括巴統(tǒng)和瓦森納協(xié)議,后者則體現(xiàn)在世界的半導(dǎo)體龍頭得益于早期布局所積累的豐富知識產(chǎn)權(quán),對中國半導(dǎo)體這樣的后來者形成專利護(hù)城河,這些都給中國半導(dǎo)體提出了巨大的挑戰(zhàn)。
          集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的環(huán)節(jié)繁多,重點(diǎn)三大“卡脖子”制造環(huán)節(jié)包括了工藝、裝備/材料、設(shè)計IP 核/EDA。
          吳漢明提到,國內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展存在多方面短板,例如在檢測設(shè)備領(lǐng)域,我國企業(yè)很少涉足,因此國內(nèi)產(chǎn)業(yè)在該領(lǐng)域的發(fā)展幾乎空白;在半導(dǎo)體材料方面,我國光刻膠、掩膜版、大硅片產(chǎn)品幾乎都要依賴進(jìn)口;在裝備領(lǐng)域,世界舞臺上看不到中國裝備的身影。
          以EUV光刻機(jī)為例,涉及到十多萬零部件,需要5000多供應(yīng)商支撐,其中32%在荷蘭和英國,27%供應(yīng)商在美國,14%在德國,27%在日本,這其實(shí)體現(xiàn)了全球化技術(shù)協(xié)作的結(jié)果。
          吳漢明提到,自主可控重要,但與此同時這個行業(yè)也是全球性的行業(yè)。在這其中,“我們有哪些環(huán)節(jié)拿得住的?是我國研發(fā)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心點(diǎn)?!?/span>
          吳漢明關(guān)于光刻機(jī)的話題,也引發(fā)了現(xiàn)場中芯國際聯(lián)席 CEO趙海軍的一番感慨。
          趙海軍提到,荷蘭光刻機(jī)企業(yè)ASML首席技術(shù)官M(fèi)artin van Der Brink此前來上海參觀,并對他說,“差距大概是20年”。但趙海軍認(rèn)為:“20年的差距不需要20年追趕,想要一下子超過去很難,但是可以每次一點(diǎn)點(diǎn)遞進(jìn)?!?/span>
          趙海軍提到, ASML有多牛,還有一點(diǎn)在于別人已經(jīng)不做這個領(lǐng)域了,但它依然堅持做下去。
          圖:上海微電子的600系列光刻機(jī)
          吳漢明院士以目前的芯片制造工藝為例,談到目前面臨的三大挑戰(zhàn)。
          其中基礎(chǔ)挑戰(zhàn)是精密圖形;核心挑戰(zhàn)是新材料,每種材料都需要數(shù)千次工藝實(shí)驗,新材料支撐性需要性能提升;終極挑戰(zhàn)則是提升良率。
          除了技術(shù)以外,晶圓廠、研發(fā)和設(shè)計成本也是芯片產(chǎn)業(yè)面臨的另一重大挑戰(zhàn)。
          “雖然芯片的難度和成本一直增加,但趨緩的摩爾定律給追趕者帶來機(jī)會?!眳菨h明表示,在這些挑戰(zhàn)下,先進(jìn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、特色工藝和先進(jìn)封裝在芯片制造方面結(jié)合運(yùn)用,芯片制造領(lǐng)域大有可為。
          他援引數(shù)據(jù)稱,10納米節(jié)點(diǎn)以下先進(jìn)產(chǎn)能占17%,83%市場在10納米以上節(jié)點(diǎn),創(chuàng)新空間巨大。在先進(jìn)制程研發(fā)不占優(yōu)勢的情況下,我國可以運(yùn)用成熟的工藝,把芯片的性能提升。也正是因此他提出一個觀點(diǎn):本土可控的55nm芯片制造,比完全進(jìn)口的7nm更有意義。
          吳漢明還提到,“忽悠式”的芯片投資或許過熱,但真正做芯片的還是非常緊缺,中國的芯片投資遠(yuǎn)沒有過熱,尤其要重視產(chǎn)業(yè)鏈的本土化,要讓制造產(chǎn)能實(shí)現(xiàn)增長,至少增長率要高于全球。趙海軍也認(rèn)同,目前的芯片過熱并不是本質(zhì)。


          此外,目前全球產(chǎn)能排名前五的晶圓廠包括三星、臺積電、美光、SK海力士和鎧俠Kioxia,而國內(nèi)芯片市場需求和制造能力的差距依然很大。吳漢明此前曾表示:“如果不加速發(fā)展,未來中國芯片產(chǎn)能與需求的差距,將拉大到至少相當(dāng)于8個中芯國際的產(chǎn)能?!?/span>


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