1 引言

目前，在臭氧發(fā)生器，污水處理，煙氣脫硫，高功率激光，等離子體放電等技術領域，高壓逆變電源正得到越來越多的應用。傳統(tǒng)的高壓逆變電源一般由工頻或中頻變壓器直接升壓或LC串聯(lián)諧振獲得，不可避免地具有體積大，效率低的缺點。在目前許多需要高壓電源的場合，采用遠遠高于工頻的高頻高壓電源效果更好，而且高頻電源體積小，重量輕，是未來發(fā)展的方向。本文介紹了一種介質(zhì)阻擋放電發(fā)生器專用的配套高壓正弦波逆變電源。該介質(zhì)阻擋放電發(fā)生器由絕緣材料和在絕緣材料兩端蝕刻而成的放電極兩部分組成，如圖1所示。在放電極間隙中加入介質(zhì)層，可有效抑制放電電流的增大，有助于在介質(zhì)兩端形成穩(wěn)定的等離子體層。其等效電路可近似看成是電容和電阻并聯(lián)組成，這種容性負載在電源設計時必須考慮其對濾波特性的影響。為了研究在不同電壓和頻率下該放電裝置的特性，需要配套的供電電源輸出電壓和頻率變動范圍較大。就本裝置而言，對電源的要求是：輸出電壓要能達到20kV，輸出電流可達到1A，頻率變化范圍為5～20kHz，波形為純正弦。以下介紹該電源的設計要點。

(a)發(fā)生器簡圖 (b)等效電路

圖1 介質(zhì)阻擋放電發(fā)生器及其等效電路示意圖

2 高壓正弦波變頻逆變電源的設計

本文所設計的高壓正弦波逆變電源原理圖如圖2所示。輸入電源為三相380V，經(jīng)三相橋整流后，可得約540V的直流電壓（隨電網(wǎng)電壓的變化波動）。該直流電壓經(jīng)過DC/DC變換器，得到一個輸出幅值可變的直流電壓，變化范圍設計為0～500V。該變換采用普通的Buck降壓變換電路即可實現(xiàn)?？勺冎绷麟妷航?jīng)DC/AC全橋逆變電路得到方波輸出。該方波經(jīng)LC濾波后可得到正弦波輸出。濾波電感由外加電感和變壓器自身漏感組成，濾波電容由變壓器自身雜散電容和負載本身的電容構成。低壓正弦波最后經(jīng)高壓高頻變壓器升壓得到所需要的高壓正弦波。一般的逆變器僅僅靠DC/AC一級變換就可同時實現(xiàn)變頻和變壓的功能，但本例對輸出波形的要求較高，而且輸出頻率較高，不好實現(xiàn)高頻調(diào)制，因此，采用兩級變換，分別實現(xiàn)變頻和變壓的功能。

圖2 高壓變頻逆變電源原理圖

DC/DC部分采用SG3525控制，通過改變其輸出的占空比來改變直流輸出電壓。DC/AC部分的功能僅僅是將直流變成交流，因此，本部分的控制芯片也采用SG3525，且其在工作過程中占空比基本保持不變，僅僅頻率在設定范圍內(nèi)變化。80C196KC單片機在整個電路中主要起一個人機接口的作用。它負責接受控制指令并將工作過程中的一些參數(shù)及狀態(tài)顯示出來。鍵盤及顯示接口電路通過8255芯片實現(xiàn)與CPU的通訊。參數(shù)調(diào)整接口主要負責將80C196KC的輸出指令傳送到SG3525電源控制芯片，以實現(xiàn)對電源的輸出電壓及頻率的調(diào)整。功率開關管全部采用IGBT，所有功率管的驅(qū)動均采用專用IGBT驅(qū)動控制芯片M57959L，該芯片內(nèi)部帶有光電隔離器和過流保護電路，使用起來比較方便。