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          8英寸碳化硅襯底材料裝備開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工藝研究項目順利通過中期驗收

          作者: 時間:2023-12-15 來源:SEMI 收藏

          據(jù)官微消息,12月10日,“8英寸襯底材料裝備開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工藝研究”項目階段驗收評審會召開。

          本文引用地址:http://cafeforensic.com/article/202312/453965.htm

          會上,以黑龍江省科學院原院長郭春景研究員為組長的評審專家組認為,圓滿完成了計劃任務書2023年度階段任務,成功獲得了8英寸單晶生長的新技術和新工藝,建立了襯底生產(chǎn)的工藝流程,制定了相關工藝流程的作業(yè)指導書,一致同意項目通過階段驗收評審。

          據(jù)了解,8英寸碳化硅襯底材料裝備開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工藝研究項目是2021年哈爾濱市科技專項計劃項目,由哈爾濱承擔,旨在推動8英寸碳化硅裝備國產(chǎn)化和碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化,獲得高性能8英寸碳化硅長晶裝備和低缺陷碳化硅襯底,具備批量制備能力并形成自主知識產(chǎn)權。項目的階段驗收成功通過,表明科友在8英寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化方面邁上了新的臺階。



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