臺灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主性發(fā)起產(chǎn)業(yè)大同盟，以抗衡三星所大力扶持周星(Jusung)、Wonik、Eugene等在地設(shè)備商。業(yè)者表示，晶圓廠垂直整合重點(diǎn)設(shè)備商，避免技術(shù)外流，已成為時勢所趨。

　　國內(nèi)科技業(yè)過去在高端制程設(shè)備高度仰賴國際設(shè)備大廠，在提供臺灣廠商設(shè)備與改良時，也將臺灣的寶貴制程技術(shù)內(nèi)化到所供應(yīng)的設(shè)備之中，這產(chǎn)生日后可能將臺灣量產(chǎn)技術(shù)泄露給對手的風(fēng)險(xiǎn)。國內(nèi)半導(dǎo)體廠要保持制程領(lǐng)先，應(yīng)先構(gòu)筑對追隨者切入的城墻，政府也有必要對臺灣在地設(shè)備商提供更多的支持。

　　政府已著手輔導(dǎo)半導(dǎo)體設(shè)備自主化發(fā)展，并列為國家型計(jì)畫支持的重點(diǎn)項(xiàng)目，其目的是要輔助真正能著力于設(shè)計(jì)、組裝與服務(wù)的設(shè)備公司，只有掌握設(shè)備設(shè)計(jì)開發(fā)的能力才能達(dá)到真正的臺灣設(shè)備自制率提升。

　　研制太陽能與IC、面板產(chǎn)業(yè)所需設(shè)備應(yīng)以制程為客制化設(shè)備開發(fā)的導(dǎo)向，這是確保量產(chǎn)優(yōu)勢最重要的一環(huán)。設(shè)備的性能與產(chǎn)能關(guān)乎產(chǎn)品品質(zhì)與生產(chǎn)成本，其中又以物理/化學(xué)氣相沉積設(shè)備 (PVD/CVD;Physical/Chemical Vapor Deposition)是最具關(guān)鍵性，是生產(chǎn)精密元件的基礎(chǔ)制程設(shè)備。

　　精曜科技投入各種鍍膜設(shè)備與自動化量產(chǎn)系統(tǒng)平臺的開發(fā)及推展，目前產(chǎn)品已獲得產(chǎn)業(yè)龍頭的認(rèn)可與采用，為國內(nèi)僅見。其研發(fā)設(shè)計(jì)與工廠設(shè)于竹科，60多位專業(yè)人員埋首于設(shè)備的開發(fā)，建立“以制程為自主設(shè)計(jì)設(shè)備之導(dǎo)向，整合委外的精密機(jī)加工鏈，再進(jìn)行組裝、測試、品質(zhì)檢驗(yàn)與售后服務(wù)”的特有經(jīng)營模式，已突破數(shù)十套CVD設(shè)備銷售，另外在大陸蘇州設(shè)有設(shè)備展示中心，供全球客戶做試樣與驗(yàn)證，已進(jìn)入成長的階段。

　　異質(zhì)接面(HJT)太陽能電池是首個被美國能源部認(rèn)可，率先獲得美國電池工廠所采用的項(xiàng)目。精曜科技的PECVD設(shè)備在HJT的制程中，已能成功執(zhí)行8奈米(nm)厚的膜層鍍膜，并達(dá)到最均勻的膜層厚度，超越客戶的需求規(guī)格，具體展現(xiàn)精曜有能力持續(xù)發(fā)展如原子層鍍膜設(shè)備與蝕刻等新應(yīng)用。

　　該公司初期投入非晶微晶矽薄膜太陽能產(chǎn)業(yè)所需的關(guān)鍵PECVD設(shè)備，當(dāng)時轉(zhuǎn)換效率已達(dá)12%，建立了優(yōu)良鍍膜的能力與名聲，精曜CVD設(shè)備亦可應(yīng)用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池與N型單晶高效率異質(zhì)接面(HJT)太陽電池等的鍍膜制程，展現(xiàn)優(yōu)越的特性，因此開啟多元化的發(fā)展契機(jī)，現(xiàn)與臺灣二大電池工廠長期密切合作，觸角也延伸至國外。

　　近年太陽能產(chǎn)業(yè)已朝向與市電平價(Grid Parity)的目標(biāo)發(fā)展，產(chǎn)業(yè)逐漸脫離對政府補(bǔ)助的依賴，自由化的市場將促進(jìn)成長的爆發(fā)性。精曜科技行銷處長陳厚模指出“制程差異化、成本降低、效率可持續(xù)提高的HJT產(chǎn)品”為未來業(yè)者勝出太陽能市場的關(guān)鍵點(diǎn)。有鑒于高效率太陽能發(fā)電制造設(shè)備極具潛力，工業(yè)局的“精密機(jī)械工業(yè)發(fā)展推動計(jì)畫”，對半導(dǎo)體設(shè)備的“高效率太陽能發(fā)電之制造設(shè)備”，明確指出為潛在發(fā)展產(chǎn)品項(xiàng)目之一。

　　世界太陽能發(fā)展趨勢已朝向以屋頂發(fā)電為主，美國Solar City并購新興的賽昂(Silevo)異質(zhì)接面電池工廠之后，已籌劃大手筆建構(gòu)產(chǎn)能高達(dá)1GW的異質(zhì)接面電池工廠，精曜做為高端鍍膜設(shè)備的領(lǐng)頭羊，打進(jìn)國際大廠供應(yīng)鏈，在Solar City一案，精曜扮演了重要的角色。

　　Solar City預(yù)估到2018年時，異質(zhì)接面電池的量產(chǎn)光電轉(zhuǎn)換效率將達(dá)25%，模組生產(chǎn)成本(CoO)將低于40￠/瓦，均化發(fā)電成本(LCOE)則將降到3￠/度。另一方面，部份業(yè)者也高度關(guān)注背接式(IBC)高效電池的發(fā)展，友達(dá)(AUO)之前已投入與美商Sunpower合作在馬來西亞共建IBC電池工廠，但在2014年的PV Taiwan展會中卻展示出323W的高效異質(zhì)接面模組，效率已達(dá)20%，回推其異質(zhì)接面電池效率應(yīng)已超越21.5%，代表國內(nèi)電池業(yè)者已有企圖發(fā)展異質(zhì)接面電池的量產(chǎn)。

　　臺灣具有強(qiáng)大的半導(dǎo)體中游產(chǎn)業(yè)鏈，但需要加強(qiáng)上游的自主設(shè)備產(chǎn)業(yè)區(qū)塊，畢竟，設(shè)備是工業(yè)之母，設(shè)備自主是國家競爭力的重要泉源。