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          梭特科技混合鍵合設(shè)備為異質(zhì)整合芯片開發(fā)提供助力

          發(fā)布人:12345zhi 時(shí)間:2023-09-07 來源:工程師 發(fā)布文章

          梭特科技展現(xiàn)半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)能量,推出Hybrid Bonding與FAN OUT技術(shù)相應(yīng)使用設(shè)備。梭特

          梭特科技展現(xiàn)半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)能量,推出Hybrid Bonding與FAN OUT技術(shù)相應(yīng)使用設(shè)備。梭特

          半導(dǎo)體封裝發(fā)展歷程從導(dǎo)線架封裝,發(fā)展至BGA、Flip Chip、2.5D及3.D封裝,及至最新的Hybrid Bonding。梭特科技(6812)為臺(tái)灣先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備商,也正積極布局研發(fā)Hybrid Bonding制程相關(guān)設(shè)備。

          梭特CEO盧彥豪表示,半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展已近極限,次時(shí)代CPU或存儲(chǔ)器改采小芯片堆疊方式,發(fā)展Pad對Pad直接連結(jié),改善Chip間的信號溝通效率及品質(zhì)。Hybrid Bonding應(yīng)運(yùn)而生,無論AMD的CPU、NVIDIA的GPU或先進(jìn)的AI芯片,都可以看到其身影。

          梭特與工研院于兩年前共同合作,投入納米級Hybrid Bond技術(shù)研發(fā),自力開發(fā)貼合波(Bonding wave)及六面清潔等關(guān)鍵技術(shù),并且部署專利,筑高產(chǎn)業(yè)門檻。業(yè)務(wù)副總謝金谷解釋,貼合波可避免制程中產(chǎn)生氣泡及微粒污染,透過參數(shù)設(shè)定可調(diào)控晶粒黏合的方向及速度,提升產(chǎn)品良率。Hybrid bonding之后進(jìn)化到多層堆疊制程后,晶粒六面清潔就很重要,透過CMP平整化及電漿表面活化,提升銅質(zhì)Pad的接著性。 

          Hybrid Bond技術(shù)尚在發(fā)展初期,據(jù)了解,晶圓與封裝大廠正在建置產(chǎn)線,還未正式進(jìn)入量產(chǎn)。梭特看好后市發(fā)展,積極卡位供應(yīng)鏈。謝金谷表示,梭特Hybrid Bonder設(shè)備于2022年半導(dǎo)體展實(shí)機(jī)展出后,旋即獲得客戶探詢合作,2023年已進(jìn)入驗(yàn)證階段。有望于次時(shí)代半導(dǎo)體封裝技術(shù)沿革中,為關(guān)鍵設(shè)備在地化做出貢獻(xiàn)。

          梭特2010年成立,以LED Sorter起家,研發(fā)垂直式式挑揀機(jī),這項(xiàng)新型專利風(fēng)靡市場10年,將營收推上巔峰。多年前轉(zhuǎn)進(jìn)半導(dǎo)體,在FanOut市場一戰(zhàn)成名,如今以Hybrid Bonder技術(shù),推出小型Wafer Level及 Chip Level二種機(jī)型,作業(yè)精度達(dá)0.2um。改版優(yōu)化后,速度提升,產(chǎn)能增至每小時(shí)3K以上,產(chǎn)能超越國際大廠。

          梭特為創(chuàng)新研發(fā)型企業(yè),六成人力投入研發(fā),以晶粒取放技術(shù)(Pick & Place)及獨(dú)家垂直取放技術(shù)二大核心技術(shù),開發(fā)少量多樣的定制化設(shè)備,運(yùn)用于IC半導(dǎo)體及LED分選機(jī),分選精度及速度優(yōu)于同業(yè),至今已取得200余項(xiàng)各類專利,鞏固在高端封裝, Fanout, mini LED及分選設(shè)備的領(lǐng)先地位。

          梭特目前以預(yù)排式巨量轉(zhuǎn)移固晶設(shè)備為主,用在扇出型晶圓級封裝(FOWLP)及扇出型面板級封裝 (FOPLP)等高整合度制程,近年精進(jìn)半導(dǎo)體先進(jìn)制程設(shè)備,在3D封裝及Chiplets封裝顯現(xiàn)成果。2023年景氣面臨挑戰(zhàn),預(yù)期市場回溫的時(shí)間延后,所幸Fanout漸有起色,梭特科技先進(jìn)封裝解決方案廣受到兩岸高度關(guān)注。

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          關(guān)鍵詞: 制程 Hybrid Bonding

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