光刻機(jī) 文章 進(jìn)入光刻機(jī)技術(shù)社區(qū)
華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進(jìn)沉浸式光刻機(jī):邁向14nm
- 中芯國際花了1.2億美元從荷蘭ASML(阿斯麥)買來一臺EUV極紫外光刻機(jī),未來可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片,長江存儲(chǔ)也迎來了自己的第一臺光刻機(jī),同樣來自ASML,不過是193nm沉浸式,用于產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓,7200萬美元一臺?! ?jù)集微網(wǎng)報(bào)道, 5月21日上午,在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū),華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目(“華虹六廠”)實(shí)現(xiàn)首臺工藝設(shè)備光刻機(jī)搬入。 這臺光刻機(jī)的型號是NXT 1980Di,依然是荷蘭ASML提
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探秘中國通信芯片那些事:行業(yè)中流砥柱
- 中美經(jīng)貿(mào)關(guān)系開始緩和,未來在高科技領(lǐng)域的合作將更多,競爭也將更加激烈。
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價(jià)值7200萬美元,長江存儲(chǔ)首臺光刻機(jī)運(yùn)抵武漢
- 長江存儲(chǔ)的首臺光刻機(jī)已于今天中午運(yùn)抵武漢天河機(jī)場,設(shè)備相關(guān)的海關(guān)、商檢及邊防口岸的相關(guān)手續(xù)辦理完成后,即可運(yùn)至長江存儲(chǔ)的工廠。據(jù)集微網(wǎng)獨(dú)家消息,這臺光刻機(jī)為ASML的193nm浸潤式光刻機(jī),售價(jià)7200萬美元,用于14nm~20nm工藝。這也從側(cè)面透露了長江存儲(chǔ)3D NAND閃存芯片的工藝制程。這是長江存儲(chǔ)的第一臺光刻機(jī),陸續(xù)還會(huì)有多臺運(yùn)抵。 圖:ASML的光刻機(jī)安全降落武漢天河機(jī)場,正在卸貨中 在今年的4月5日,長江存儲(chǔ)首批400萬美元的精密儀器開始進(jìn)場安裝,標(biāo)志著國家存儲(chǔ)器基地從廠房建設(shè)階段進(jìn)
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這些“細(xì)節(jié)”讓中國難望頂級光刻機(jī)項(xiàng)背
- 真正的核心技術(shù)靠化緣是要不來的。我們還有多少亟待攻克的關(guān)鍵核心技術(shù),差距在哪,需要從哪些方面突破?
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上海微電子采購Bumotec機(jī)床 加速中國光刻機(jī)研發(fā)
- 去年,一臺價(jià)值1.06億元設(shè)備經(jīng)空運(yùn)從荷蘭飛抵廈門,由于該設(shè)備價(jià)值高,而且對保存和運(yùn)輸有著很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下,為了避免影響設(shè)備的精度,在運(yùn)輸中也對穩(wěn)定性有極高的要求。因此,機(jī)場海關(guān)以機(jī)坪查驗(yàn)的方式對該貨物實(shí)行全程機(jī)邊監(jiān)管,待貨物裝入特制溫控氣墊車后移至海關(guān)的機(jī)坪視頻監(jiān)控探頭之下,在完成緊急查驗(yàn)后當(dāng)晚就放行。 沒錯(cuò),這臺設(shè)備就是荷蘭ASML的光刻機(jī)。鐵流猜測,這臺設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c臺灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的。
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光刻機(jī)領(lǐng)域國內(nèi)接近世界先進(jìn)水平,9nm線寬光刻實(shí)現(xiàn)突破
- SEMICON China 2017開幕日即3月14日,上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(后簡稱“SMEE”)宣布,SMEE 與荷蘭公司 ASML 簽署戰(zhàn)略合作備忘錄(MoU),為雙方進(jìn)一步的潛在合作奠定了基礎(chǔ)。 根據(jù)這項(xiàng)合作備忘錄,ASML 和 SMEE 將探索就 ASML 光刻系統(tǒng)的特定模塊或半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)行采購的可能性。此次MoU的簽署代表 ASML 繼日前與上海集成電路研發(fā)中心(ICRD)宣布合作之后,進(jìn)一步深入?yún)⑴c中國的IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 光刻機(jī)被稱
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沉浸式光刻機(jī)供貨緊缺 臺系內(nèi)存芯片廠制程升級受阻
- 據(jù)內(nèi)存業(yè)者透露,由于著名光刻設(shè)備廠商ASML生產(chǎn)的NXT:1950i沉浸式光刻機(jī)目前供貨十分緊缺,因此臺系內(nèi)存芯片廠商收到所訂購的這種設(shè)備的時(shí)間 可能會(huì)再后延12個(gè)月之久,由于NXT:1950i沉浸式光刻機(jī)對這些廠商轉(zhuǎn)移到38nm以上級別制程至關(guān)重要,因此預(yù)計(jì)臺系內(nèi)存芯片廠商制程轉(zhuǎn)換的進(jìn)度 會(huì)受到較大的影響。NXT:1950i 是荷蘭ASML公司最新開發(fā)的沉浸式光刻機(jī),可用于制造12英寸32nm及以上級別制程的產(chǎn)品. 此前曾有報(bào)道稱 NXT:1950i的訂貨至到貨日期已經(jīng)被拉長到了將近12個(gè)月,
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ASML Q2業(yè)績創(chuàng)新高 6套EUV設(shè)備將交貨
- ASML日前宣布,其2010年Q2凈銷售達(dá)到1,069 million歐元,凈收入為239 million 歐元,Q2的凈訂單價(jià)值1,179 million 歐元,包括了48套新系統(tǒng)及11套二手系統(tǒng)。各項(xiàng)數(shù)據(jù)均較2010年Q1有所提高。 ASML總裁兼CEO Eric Meurice認(rèn)為,Q2銷售的強(qiáng)勁增長證明了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)近期對于光刻設(shè)備的需求,已有近20套NXT:1950i 設(shè)備運(yùn)出。所有ASML的先進(jìn)NXT光刻機(jī)都包括了一個(gè)或多個(gè)一體化光刻部件。對于下一代將要應(yīng)用于20nm以下節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品,E
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全球存儲(chǔ)器短缺的三個(gè)理由
- 2010年全球存儲(chǔ)器可能出現(xiàn)供應(yīng)缺貨,而且非常可能會(huì)延續(xù)下去。為什么?可能有三個(gè)原因,1),存儲(chǔ)器市場復(fù)蘇;2),前幾年中存儲(chǔ)器投資不足;3),由ASML供應(yīng)的光刻機(jī)交貨期延長。 巴克菜投資公司的分析師 Tim Luke在近期的報(bào)告中指出,通過存儲(chǔ)器的食物供應(yīng)鏈看到大量的例證,認(rèn)為目前存儲(chǔ)器供應(yīng)偏緊的局面將持續(xù)2010整年,甚至延伸到2011年。 據(jù)它的報(bào)告稱,2010年全球NAND閃存的位增長可達(dá)70%,而2009增長為41%。2010年全球DRAM的位增長達(dá)52%。 Luke認(rèn)為
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光刻機(jī)介紹
國外半導(dǎo)體設(shè)備
我公司擁有國外半導(dǎo)體設(shè)備,包括臺灣3S公司生產(chǎn)的光刻機(jī),涂膠臺,
金絲球焊機(jī),電子束蒸發(fā)臺。
濺射臺及探針臺等各種設(shè)備,世界知名劃片機(jī)企業(yè)英國Loadpoint公司生產(chǎn)的6英寸--12英寸
精密劃片機(jī),300毫米清洗機(jī),。
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網(wǎng)址:http://www.loadpoint.com.cn
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