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光刻機(jī)
光刻機(jī) 文章 進(jìn)入光刻機(jī)技術(shù)社區(qū)
光刻機(jī)“電老虎” 中芯國(guó)際一年耗電29億度:不到臺(tái)積電零頭
- 芯片制造是公認(rèn)的高科技,但是這也是個(gè)非常消耗電力及水力的行業(yè),其中的關(guān)鍵設(shè)備光刻機(jī)就是名副其實(shí)的電老虎,EUV光刻機(jī)一天就能耗電3萬度以上,導(dǎo)致晶圓生產(chǎn)中電費(fèi)都是高成本的存在。那國(guó)內(nèi)最大的晶圓制造企業(yè)中芯國(guó)際到底有多耗電呢?該公司日前也發(fā)布了企業(yè)責(zé)任報(bào)告,公布了2021年度的能耗情況,具體如下:2021年,中芯國(guó)際能源消耗總量為2,887.69百萬千瓦時(shí),能源消耗強(qiáng)度為12.77千瓦時(shí) /8 吋晶圓當(dāng)量-光罩?jǐn)?shù),與 2020年基本相當(dāng)。簡(jiǎn)單來說,中芯國(guó)際去年的總能耗大概是28.9億度電,其中直接的電力消耗
- 關(guān)鍵字: 中芯國(guó)際 光刻機(jī) 臺(tái)積電
佳能將于2023年上半年發(fā)售3D半導(dǎo)體光刻機(jī),曝光面積是現(xiàn)在的4倍
- 4 月 1 日消息,據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng)報(bào)道,佳能正在開發(fā)用于半導(dǎo)體 3D 技術(shù)的光刻機(jī)。佳能光刻機(jī)新品最早有望于 2023 年上半年上市。曝光面積擴(kuò)大至現(xiàn)有產(chǎn)品的約 4 倍,可支持 AI 使用的大型半導(dǎo)體的生產(chǎn)。3D 技術(shù)可以通過堆疊多個(gè)半導(dǎo)體芯片使其緊密連接來提高性能的方式。據(jù)介紹,在放置芯片的板狀零部件上,以很高的密度形成以電氣方式連接各個(gè)芯片的多層微細(xì)布線,佳能就正在開發(fā)用于形成這種布線的新型光刻機(jī),過在原基礎(chǔ)上改進(jìn)透鏡和鏡臺(tái)等光學(xué)零部件,來提高曝光精度以及布線密度。據(jù)稱,普通光刻機(jī)的分辨率為十幾微米,但
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攻克“光源中的光源”,中國(guó)有機(jī)會(huì)
- 當(dāng)前,芯片問題廣受關(guān)注,而半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠——以極紫外(EUV)光刻機(jī)為代表的高端光刻機(jī),則是我國(guó)集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展必須邁過的“如鐵雄關(guān)”。如何在短期內(nèi)加快自主生產(chǎn)高端光刻機(jī)的步伐,打破國(guó)外的技術(shù)封鎖和市場(chǎng)壟斷?筆者認(rèn)為,應(yīng)找準(zhǔn)關(guān)鍵技術(shù),攻克核心設(shè)備,躋身上游產(chǎn)業(yè)。認(rèn)清光刻關(guān)鍵技術(shù)對(duì)于光刻機(jī),憑什么美國(guó)可以左右荷蘭阿斯麥公司(ASML)EUV光刻機(jī)的出海國(guó)家?ASML又為什么“愿意”聽從美國(guó)的“擺布”?一方面,美國(guó)在ASML早期研發(fā)階段給予大力扶持,幫助其獲取最新的研究成果;作為繼續(xù)扶持
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總投資155億 國(guó)產(chǎn)CMOS傳感器工廠又迎來一臺(tái)ASML先進(jìn)光刻機(jī)搬入
- 日前國(guó)產(chǎn)芯片廠商格科微宣布成功實(shí)現(xiàn)整套ASML光刻機(jī)中的關(guān)鍵設(shè)備——先進(jìn)ArF光刻機(jī)的搬入。據(jù)格科微表示,目前,格科微潔凈室已按計(jì)劃分階段順利驗(yàn)收,相關(guān)廠務(wù)系統(tǒng)配備進(jìn)展順利,共有六十一臺(tái)設(shè)備已經(jīng)搬入。未來,外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關(guān)設(shè)備仍會(huì)陸續(xù)搬入。格科微表示,ArF光刻機(jī)的成功引入,是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”建設(shè)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進(jìn)制程,格科微將進(jìn)一步加快先進(jìn)CIS工藝和高階專利像素的研發(fā)速度,并在自有工廠實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)驗(yàn)證,從而極大縮短高端產(chǎn)品從研
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光刻機(jī)巨頭阿斯麥 ASML 將于新加坡擴(kuò)建新產(chǎn)線
- 3 月 29 日消息,光刻機(jī)巨頭阿斯麥 ASML 在新加坡一間工廠的開幕式上宣布,將在該工廠興建第二座制造車間,預(yù)計(jì)將于 2023 年初投產(chǎn)。擴(kuò)建后的工廠將讓該公司在新加坡的產(chǎn)能增加 3 倍,全球產(chǎn)能倍增。ASML 是世界領(lǐng)先的科技公司之一,全球半導(dǎo)體價(jià)值鏈的主要參與者。這里設(shè)計(jì)的技術(shù)和機(jī)器有助于在新加坡、韓國(guó)或美國(guó)生產(chǎn)芯片。世界上最大的芯片制造商們都需要這種設(shè)備。在生產(chǎn)處理器芯片的過程中,EUV 光刻機(jī)最昂貴。目前全世界只有阿斯麥(ASML)能制造出 EUV 光刻機(jī)。在過去的十年時(shí)間里,阿斯麥總共售出大
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光刻機(jī)傳來新消息,臺(tái)積電不得不接受現(xiàn)實(shí)
- 臺(tái)積電正在加快芯片產(chǎn)能,不管是成熟工藝還是高端芯片,臺(tái)積電都具備強(qiáng)勁的制造實(shí)力。但臺(tái)積電并沒有就此止步,仍積極開展美國(guó),日本的新建工廠計(jì)劃。因此臺(tái)積電在未來還會(huì)有更多的產(chǎn)業(yè)鏈采購(gòu)需求,可是光刻機(jī)傳來新消息,ASML表態(tài)產(chǎn)能供應(yīng)不足。ASML為何會(huì)出現(xiàn)產(chǎn)能不足的情況呢?光刻機(jī)供應(yīng)緊張,對(duì)臺(tái)積電影響幾何呢?關(guān)于光刻機(jī)供貨,ASML發(fā)出警告ASML生產(chǎn)的光刻機(jī)遍布世界各地,交付到各個(gè)芯片制造商手中,或者提供給一些廠商進(jìn)行生產(chǎn)研究。根據(jù)光刻機(jī)的需求不同,覆蓋領(lǐng)域也是不一樣的,從芯片制造產(chǎn)業(yè)到光刻膠材料生產(chǎn),以及封
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ASML發(fā)出產(chǎn)能預(yù)警 芯片制造商面臨先進(jìn)光刻機(jī)供應(yīng)短缺的瓶頸
- 受近年芯片供應(yīng)持續(xù)短缺的影響,我們已經(jīng)看到了位于世界各地的多個(gè)晶圓廠的建設(shè)公告。但是在投入實(shí)際生產(chǎn)之前,這一切都受到荷蘭阿斯麥(ASML)的光刻機(jī)供應(yīng)的限制。ASML 首席執(zhí)行官 Peter Wennink 剛剛發(fā)出警告,稱該公司難以滿足客戶的產(chǎn)品需求。據(jù)悉,ASML 專注于生產(chǎn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種類型的光刻機(jī),且在該領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位,客戶中包括了英特爾、臺(tái)積電、三星等芯片巨頭。然而最新消息是,至少在未來幾年內(nèi),ASML 都無法順利交付所有訂單。即使今年預(yù)期的光刻機(jī)出貨量高于去年,但明年的增勢(shì)并未放
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ASML的大股東究竟是誰?真的是英特爾、三星、臺(tái)積電?
- 眾所周知,ASML是全球最牛的光刻機(jī)廠商,能夠用于7nm及以下芯片制造的EUV光刻機(jī),只有ASML能夠生產(chǎn)。而ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī),一般也是優(yōu)先供應(yīng)給intel、臺(tái)積電、三星這三家廠商,其它的廠商要等這三家廠商買剩了后,才可能會(huì)輪到。為什么ASML會(huì)優(yōu)先賣給這三家廠商呢?第一是這三家廠商是大客戶,必須要優(yōu)特,第二則是很多人說,這三家廠商是ASML的股東,所以當(dāng)然要先照顧股東。那么問題就來了,ASML的股東究竟是誰,英特爾、三星、臺(tái)積電真的是ASML的股東么?關(guān)于ASML的由來,可以追溯到1984年,
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格科微臨港12吋CIS項(xiàng)目迅速推進(jìn),ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)正式搬入
- 3月24日上午10:18,在嚴(yán)格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下,格科微順利舉辦ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)搬入儀式。格科半導(dǎo)體SVP李朝勇、各部門總監(jiān)、光刻團(tuán)隊(duì)及廠務(wù)團(tuán)隊(duì)出席儀式,共同見證了公司這一里程碑式的重要時(shí)刻。目前,格科微有限公司“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”推進(jìn)迅速。廠房和潔凈車間建設(shè)已經(jīng)基本完成,并于2022年2月16日開始主設(shè)備的搬入安裝。在3月24日,格科半導(dǎo)體再次迎來了建廠重要標(biāo)志性時(shí)刻,整套生產(chǎn)線中的最關(guān)鍵設(shè)備——ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功搬入。ArF光刻機(jī)的
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阿斯麥CEO:不賣EUV給中國(guó)大陸“是政府們的選擇”
- (原標(biāo)題:光刻機(jī)巨頭阿斯麥CEO:不賣EUV給中國(guó)大陸“是政府們的選擇”)【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】“這不是我們的選擇,而是政府們(《瓦森納協(xié)定》成員國(guó))的選擇。”日前,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥CEO溫彼得再次就向中國(guó)大陸出口EUV光刻機(jī)一事解釋道。他今年1月曾表示,中國(guó)不太可能獨(dú)立復(fù)制出(replicate)頂尖的光刻技術(shù),但也別那么絕對(duì),“他們肯定會(huì)嘗試”。觀察者網(wǎng)注意到,由于最先進(jìn)的EUV設(shè)備無法向中國(guó)大陸出口,溫彼得自2021年以來曾多次發(fā)聲。2021年4月,他曾喊話美國(guó)政府,對(duì)華出口管制不僅不能阻礙中國(guó)
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每臺(tái)售價(jià)2億美元 阿斯麥的EUV光刻機(jī)為什么別人還造不了
- 3月24日消息,在荷蘭南部靠近比利時(shí)邊境的維爾德霍溫鎮(zhèn),坐落著全世界唯一一家能夠組裝EUV(極紫外)光刻機(jī)的工廠?! ∈澜缟献畲蟮男酒圃焐虃兌夹枰@種設(shè)備。在生產(chǎn)處理器芯片的過程中,EUV光刻機(jī)最昂貴。目前全世界只有阿斯麥(ASML)能制造出EUV光刻機(jī)?! ∶绹?guó)塔夫茨大學(xué)弗萊徹學(xué)院助理教授克里斯·米勒(Chris Miller)表示:“阿斯麥在制造EUV光刻機(jī)方面擁有市場(chǎng)壟斷地位。EUV光刻機(jī)是最先進(jìn)的光刻設(shè)備,我們今天使用的每一塊先進(jìn)處理器芯片都需要這種設(shè)備?!薄八麄兩a(chǎn)的每一臺(tái)機(jī)器都是有史以來
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ASML:努力向中國(guó)提供一切能夠提供的技術(shù)
- 芯片行業(yè)一直是困擾全球的“卡脖子”領(lǐng)域,而其中核心的光刻機(jī)技術(shù)被幾家公司牢牢的攥在手里。想要在芯片領(lǐng)域有長(zhǎng)足的進(jìn)步,光刻機(jī)這種核心設(shè)備就要有所突破。而之前美國(guó)通過自身在全球市場(chǎng)的控制能力,通過修改法案等手段一直將光刻機(jī)設(shè)備和技術(shù)限制對(duì)中國(guó)進(jìn)行輸出。但近期光刻機(jī)頭部企業(yè)ASML則明確表態(tài)將會(huì)盡其所能向中國(guó)市場(chǎng)提供一切他們能夠提供的技術(shù),其中DUV光刻機(jī)將會(huì)不需要認(rèn)可許可即可向中方企業(yè)提供。ASML光刻機(jī)除此之外,ASML表示在當(dāng)前法律框架之下,他們除了EUV光刻機(jī)無法向中方企業(yè)提供,其他產(chǎn)品都可以正常發(fā)售。
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單臺(tái)1.5億美元 ASML制造新一代EUV光刻機(jī)
- 據(jù)《連線》雜志報(bào)道,在美國(guó)康涅狄格州郊區(qū)的一間潔凈室中,ASML的工程師們正在為一臺(tái)單臺(tái)造價(jià)1.5億美元的新機(jī)器制造關(guān)鍵部件,該部件是新一代EUV系統(tǒng)的組成部分,會(huì)采用一些新技術(shù)來最大限度地減少其使用的光波長(zhǎng),包括縮小芯片的特征尺寸并提升性能。ASML的工程師正在裝配系統(tǒng)組件(圖片來自ASML) 要知道,當(dāng)前的EUV機(jī)器已經(jīng)像一輛公共汽車那么大,包含10萬個(gè)零部件和兩公里長(zhǎng)的電纜,運(yùn)輸這些組件需要40個(gè)貨運(yùn)集裝箱、三架貨機(jī)和20輛卡車,能夠買得起這種設(shè)備的公
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阿斯麥的新一代EUV光刻機(jī):造價(jià)1.5億美元 公共汽車大小
- 9月2日消息,荷蘭阿斯麥的新一代極紫外(EUV)光刻機(jī)每臺(tái)有公共汽車大小,造價(jià)1.5億美元。其前所未有的精度可以讓芯片上的元件尺寸在未來幾年繼續(xù)縮小?! ≡谖挥诿绹?guó)康涅狄格州郊區(qū)的一間大型潔凈室里,工程師們已經(jīng)開始為一臺(tái)機(jī)器制造關(guān)鍵部件,這臺(tái)機(jī)器有望讓芯片制造行業(yè)沿著摩爾定律至少再走上10年時(shí)間?! ∵@臺(tái)極紫外光刻機(jī)是由荷蘭阿斯麥公司制造的。阿斯麥于2017年推出世界上第一臺(tái)量產(chǎn)的極紫外光刻機(jī),在芯片制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,已經(jīng)被用于制造iPhone手機(jī)芯片以及人工智能處理器等最先進(jìn)的芯片。阿斯
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為什么ASML加速來華?
- 芯片雖小,制造難度卻很大,而且芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備光刻機(jī)的缺乏,更是成為限制我國(guó)高端芯片的一大難題。尤其是近兩年華為事件的不斷發(fā)酵,讓我國(guó)半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的問題越加明顯,那就是在芯片制造的設(shè)備上,我國(guó)依然受制于人的問題相當(dāng)嚴(yán)重。為什么ASML加速來華?北大教授的發(fā)聲很現(xiàn)實(shí),國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)突破在即雖然華為研發(fā)出基于5nm工藝的麒麟9000芯片,令一眾對(duì)手刮目相看,但是沒有臺(tái)積電為其代工生產(chǎn),沒有屬于中國(guó)自己的高端光刻機(jī),就等同于一張“紙老虎”。作為中國(guó)大陸最先進(jìn)的芯片制造企業(yè)中芯國(guó)際,因?yàn)闆]有高端光刻機(jī),至今仍然沒
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光刻機(jī)介紹
國(guó)外半導(dǎo)體設(shè)備
我公司擁有國(guó)外半導(dǎo)體設(shè)備,包括臺(tái)灣3S公司生產(chǎn)的光刻機(jī),涂膠臺(tái),
金絲球焊機(jī),電子束蒸發(fā)臺(tái)。
濺射臺(tái)及探針臺(tái)等各種設(shè)備,世界知名劃片機(jī)企業(yè)英國(guó)Loadpoint公司生產(chǎn)的6英寸--12英寸
精密劃片機(jī),300毫米清洗機(jī),。
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